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池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司
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VPO1000-300淘淘西直銷！日本UNITEMP/尤尼坦頂裝式 真空工藝快速加熱爐VPO-1000-300
| 參考價(jià): | ￥ 17300 |
| 訂貨量: | 1套 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- VPO1000-300 產(chǎn)品型號(hào)
- UNITEMP/尤尼坦 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：255更新時(shí)間：2024-05-17 17:50:34
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,綜合 |
|---|
頂裝式真空工藝快速加熱爐
兼容Φ300mm（12英寸）晶圓
最高溫度達(dá)到1000℃
最大加熱速率 40K/秒。
設(shè)備尺寸：505 x 505 x 830 毫米（寬x深x高）
設(shè)備重量：約105公斤
產(chǎn)品介紹
淘淘西直銷！日本UNITEMP/尤尼坦頂裝式 真空工藝快速加熱爐VPO-1000-300淘淘西直銷！日本UNITEMP/尤尼坦頂裝式 真空工藝快速加熱爐VPO-1000-300
觸摸屏型Φ12英寸兼容真空/工藝氣體
高速退火加熱系統(tǒng)VPO-1000-300
VPO-1000-300工藝氣體高速退火爐
VPO-1000-300
工藝氣體快速退火爐
設(shè)備尺寸：505 x 505 x 570毫米（寬x深x高）
設(shè)備重量：約105公斤
除了原型開(kāi)發(fā)應(yīng)用之外，它還可以集成到與 N2、H2 和甲酸兼容的在線系統(tǒng)中。與真空回流退火工藝和 LTO 燒結(jié)兼容！
加熱區(qū)上下設(shè)有IR（紅外線）型加熱器，最高溫度可達(dá)1000℃，并可高速升溫40K/秒。采用氮?dú)獯祾叻绞降睦鋮s方式，降溫速度高達(dá)190K/min。
觸摸屏用于輪廓程序控制。
除了創(chuàng)建溫度控制、氣體流量 (MFC)、真空控制等配置文件程序外，您還可以保存過(guò)程數(shù)據(jù)。
它可以加熱最大300x300mm或Φ300mm的物體。
真空工藝快速加熱爐，盡管其桌面尺寸，最高溫度可達(dá)1000℃。
兼容氮?dú)獯祾?、氧氣吹掃、合成氣（氫?氮?dú)猓┐祾叩取?/span>
由于工作區(qū)域是氣體保護(hù)的，因此可用于存在污染問(wèn)題的工藝或其他關(guān)鍵工藝。
加熱由頂部和底部的 48 個(gè) IR（紅外線）加熱器進(jìn)行，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確、快速的加熱。
與適當(dāng)?shù)恼婵毡媒M合，可實(shí)現(xiàn)高達(dá)0.1Pa（10-3hPa）的真空環(huán)境。
兼容氮?dú)獯祾叻ǖ臏囟认陆?/span>
標(biāo)準(zhǔn)配備觸摸屏顯示器。通過(guò)觸摸操作輕松操作
主機(jī)上最多可注冊(cè)50個(gè)50段（行）的溫度控制程序。
可與上下料機(jī)、機(jī)器人等組合集成到生產(chǎn)線中。
最高溫度達(dá)到1000℃
標(biāo)準(zhǔn)配備設(shè)備外殼冷卻裝置。在確保安全的同時(shí)，最高溫度可達(dá)1000℃。因此，它不僅可以輕松應(yīng)對(duì) SiAu、SiAl 和 SiMo 等退火工藝，還可以輕松應(yīng)對(duì)糊料材料等燒結(jié)工藝。
兼容高速加熱/冷卻
配備高速紅外線（IR）加熱器，最高可升溫至每分鐘2400℃以上（每秒40℃以上）。當(dāng)然，也可以以輪廓程序的任何速率升高溫度。另外，在降溫過(guò)程中，通過(guò)向腔室中供應(yīng)冷卻氮?dú)?，可以安全地進(jìn)行冷卻，而不會(huì)損壞處理后的器件表面。
兼容各種氣體吹掃環(huán)境
最多可以安裝4個(gè)MFC（質(zhì)量流量控制器）系統(tǒng)，因此除了真空或大氣環(huán)境之外，還可以在任何工藝氣體吹掃環(huán)境中進(jìn)行退火。不僅可以在配置文件程序中注冊(cè)各種氣體系統(tǒng)的開(kāi)/關(guān)控制，還可以注冊(cè)其流量，從而可以輕松再現(xiàn)各種環(huán)境。
簡(jiǎn)單的溫度曲線設(shè)置
標(biāo)配7英寸觸摸屏。任何控制配置文件程序都可以在觸摸面板上創(chuàng)建和保存，無(wú)需單獨(dú)的外部 PC。最多可注冊(cè)并執(zhí)行 50 個(gè) 50 個(gè)步驟的溫度控制程序。此外，標(biāo)準(zhǔn)配置還包括將實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)保存到 USB 存儲(chǔ)器的功能。通過(guò) USB 存儲(chǔ)器也可以輕松地將實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)移動(dòng)到任何 PC。
垂直室開(kāi)/關(guān)
腔體可通過(guò)兩側(cè)操作按鈕手動(dòng)開(kāi)啟和關(guān)閉，也可通過(guò)外部信號(hào)自動(dòng)開(kāi)啟和關(guān)閉，因此可串聯(lián)安裝。
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