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貨物所在地：廣東廣州市
所在地： 廣州市白云區(qū)永平街道致富路 3
更新時(shí)間：2024-11-06 08:49:48
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氣體介紹
三氟化氮，中文別名:氟化氮，CAS號(hào):7783-54-2，分子式:F3N，分子量:71.0019。在微電子工業(yè)中用作一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體。
設(shè)備參數(shù)
檢測(cè)方式 | 泵吸式 |
測(cè)量氣體 | 三氟化氮 |
測(cè)量范圍 | 0-100PPM(未列出量程可選） |
檢測(cè)原理 | 電化學(xué)原理/ |
檢測(cè)單位 | %VOL、%LEL、mg/m3、ppm、多種單位可選擇； |
分 辨 率 | 0.01PPM（視量程而定） |
精度 | 3%F.S |
重復(fù)性 | 1%F.S |
顯示方式 | 2.5寸點(diǎn)陣顯示屏 |
數(shù)據(jù)記錄 | 高達(dá)80000條，可設(shè)置1次/1s、1次/10s、1次/60s |
響應(yīng)時(shí)間 | 30S |
自動(dòng)診斷 | 電池電量/顯示/傳感器/硬件故障等功能 |
防爆類型 | 本質(zhì)安全型設(shè)計(jì) |
重 量 | 0.26kg |
工作條件 | 0~90%RH［無(wú)凝露］ 常壓0.1MPA 溫度：-20-50度 |
尺寸 | 長(zhǎng)135mm×高65mm×寬35mm |
數(shù)據(jù)恢復(fù) | 方便快捷，一鍵恢復(fù)出廠設(shè)置 |
標(biāo)準(zhǔn) | GB 12358-2006、GB 3836.1-2010、GB 3836.4-2010 |
出廠配件 | 說明書、充電器、包裝鋁盒、測(cè)試報(bào)告、保修卡、合格證 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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