UL3000 Fab 可移動式英?？岛鈾z漏儀

UL3000 FAB ULTRA 的附加*性。

·較早地起始泄漏檢查，由于HYDRO·S軟件限制水蒸汽本底，使它有可能快速進(jìn)入高靈敏的測量范圍。

·快速抽空，由于對空氣的高抽速。

·低使用成本(TCO)由于無需維護(hù)的羅茨粗抽泵。

低的運(yùn)行和維護(hù)成本

維護(hù)費(fèi)用低，使用壽命長:

·堅(jiān)實(shí)耐用的真空系統(tǒng)

·加固的離子源,長達(dá)三年保修期

易于進(jìn)入應(yīng)用區(qū)域

·小型和堅(jiān)實(shí)的結(jié)構(gòu),穩(wěn)定和良好的移動性

·重心低，易搬運(yùn)

·大膠輪,易于翻越障碼物

典型的應(yīng)用

■INFICON 檢漏儀日常用于大型半導(dǎo)體生產(chǎn)中

■各種過程工藝包括:刻蝕.CVD,PVD,真空爐,離子注入，MOCVD,太陽能,FPD 等

■工藝維護(hù)后快速確認(rèn)工藝的完整性和應(yīng)修復(fù)的漏孔部位

■在次級生產(chǎn)中的真空管線和泵

■氣柜和復(fù)雜的氣體輸送管線

■生產(chǎn)設(shè)施和治理

易檢測大漏孔

可非常快地檢測大漏孔,由于不再需要等待系統(tǒng)抽空。這得益于:

■大漏檢測功能(專用的泵/閥組功能)

UL3000 Fab 可移動式英?？岛鈾z漏儀

您的泄漏檢測解決方案專家

INFICON可為高度專業(yè)化行業(yè)中要求極為苛刻的真空過程提供權(quán)球嶺先的測量和傳感器技術(shù)及過程管理服務(wù)。特別是在制冷和空調(diào)技術(shù),半導(dǎo)體制造和汽車生產(chǎn)等領(lǐng)域，INFICON的氣體泄漏檢測產(chǎn)品有著廣泛應(yīng)用。

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