使用賽默飛Surf-Cal微粒尺寸標(biāo)準(zhǔn)品（干），粒度標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)化校準(zhǔn)晶片的制備，用于掃描表面檢測(cè)系統(tǒng)（SSIS）的校準(zhǔn)和維護(hù)?？捎玫牧綄?duì)應(yīng)于儀器制造商要求的校準(zhǔn)點(diǎn)尺寸。

賽默飛已設(shè)計(jì)生產(chǎn)了特定大小的微粒用來(lái)校準(zhǔn)用于半導(dǎo)體工業(yè)的掃描表面監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(SISS)。

通過(guò)與儀器生產(chǎn)商合作，研發(fā)生產(chǎn)出Surf-Cal微粒尺寸標(biāo)準(zhǔn)品(干)系列產(chǎn)品以滿足SEMI 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)則要求?？商峁┑奈⒘３叽绨ò雽?dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖 (ITRS)¹定義的關(guān)鍵的尺寸節(jié)點(diǎn)的大小。

使用賽默飛Surf-Cal微粒尺寸標(biāo)準(zhǔn)品(干)，粒度標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)化校準(zhǔn)晶片的制備，用于掃描表面檢測(cè)系統(tǒng)（SSIS）的校準(zhǔn)和維護(hù)?？捎玫牧綄?duì)應(yīng)于儀器制造商要求的校準(zhǔn)點(diǎn)尺寸。

 

特點(diǎn)：

• Surf-Cal標(biāo)準(zhǔn)品可用來(lái)簡(jiǎn)化您工廠內(nèi)校準(zhǔn)晶片的準(zhǔn)備工作?？商峁┑奈⒘３叽缗c儀器生產(chǎn)商要求的校準(zhǔn)點(diǎn)大小*。
• 將 Surf-Cal 系列 NIST 溯源的聚苯乙烯微粒置于特別選定的晶片上，您就可以執(zhí)行定期校準(zhǔn)檢查，并可將您的掃描儀與其他地方的掃描儀進(jìn)行對(duì)比。
• 您也可以在生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵階段對(duì)SSIS 系統(tǒng)進(jìn)行性能評(píng)估。
• 這一系列標(biāo)準(zhǔn)品懸浮于去離子過(guò)濾水中，以終濃度3×10 ^8個(gè)微粒/ mL、50ml瓶裝的規(guī)格包裝。PD1100 系列產(chǎn)品以及更小的微粒也提供濃度為10 ¹⁰微粒/mL 的規(guī)格，主要用于微分遷移率分析儀（DMA）或其它尺寸排除技術(shù)輔助的領(lǐng)域。

 

測(cè)量方法：

為了確保能直接溯源至NIST，這些產(chǎn)品獲得認(rèn)證的直徑是通過(guò)投射電子顯微鏡，或光學(xué)顯微鏡由NIST標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)²轉(zhuǎn)移而得的。不確定度是根據(jù)NIST技術(shù)注釋1297, 1994版―評(píng)估與表達(dá)NIST測(cè)定結(jié)果不確定度的導(dǎo)則³計(jì)算而得。認(rèn)證證書(shū)中標(biāo)明的不確定度值是采用覆蓋因子2(K=2)擴(kuò)展后的不確定度。

峰值直徑是采用微粒尺寸分布±2s的范圍計(jì)算而得。計(jì)算的尺寸分布作為峰值的標(biāo)準(zhǔn)偏移圖。變異系數(shù)是指一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)差與峰值直徑的百分比。FWHM分布是半峰值高的分布占據(jù)峰值直徑的百分比計(jì)算而得的。

1. ―半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖 (ITRS)‖, 半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會(huì) (1999)

2. S.D. Duke 與 E.B. Layendecker, ―采用電子顯微鏡進(jìn)行亞微球粒子的尺寸校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)方法‖, 精密粒子協(xié)會(huì) (1988)

3. Barry N. Taylor 與Chris E. Kuyatt, ―評(píng)估與表達(dá)NIST測(cè)定結(jié)果不確定度的導(dǎo)則‖.NIST 技術(shù)注釋 1297, 1994 版, 9月，1994.

 

技術(shù)參數(shù)

成分：聚苯乙烯

密度：1.05g/cm3

折射指數(shù)：1.59@589nm(25°C)

添加劑：無(wú)

 

標(biāo)稱直徑	瓶裝規(guī)格	大約數(shù)量/g	貨號(hào)
均一的 PS-DVB 干微球 – 光學(xué)顯微鏡校準(zhǔn)
5 μm	1g	1.4 x 1010	DC-05
6 μm	1g	8.4 x 1010	DC-06
7 μm	1g	5.5 x 109	DC-07
8 μm	1g	4.3 x 109	DC-08
10 μm	1g	1.8 x 109	DC-10
15 μm	1g	4.3 x 108	DC-15
20 μm	1g	2.3 x 108	DC-20
25 μm	1g	1.1 x 108	DC-25
50 μm	1g	1.4 x 107	DC-50
70 μm	1g	5.7 x 106	DC-70
100 μm	1g	2.0 x 106	DC-100