目錄:廣州金程科學(xué)儀器有限公司>>等離子表面處理儀>>涂覆機(jī)>> MSC/SC1/SC2旋涂機(jī)涂覆機(jī)
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廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的旋涂機(jī)涂覆機(jī)，是一種薄膜制備設(shè)備，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。
旋涂機(jī)原理：
旋涂機(jī) (spin coater)是一種薄膜制備設(shè)備。 在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，在離心力 作用下，使膠液均勻地涂覆在基片表面上形成均 勻的薄膜。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、 化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片， 基 片 ，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
旋涂機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體器件制備： 制備晶體管、太陽能電池、光伏器件等半導(dǎo)體器件的電極、介質(zhì)和敏感層材料。
光電子器件制造： 制備液晶顯示器、OLED 顯示器、LED 器件等光電子器件的薄膜材料。
生物醫(yī)學(xué)傳感器制造：生物醫(yī)學(xué)傳感器的敏感材料，如蛋白質(zhì)、 DNA 和細(xì)胞等。
納米材料制備：制備納米粒子、納米線和納米薄膜等材料，其制備過程對材料結(jié)構(gòu)和形貌具有一定的控制作用。
旋涂機(jī)特點：
◆ 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠均勻。
◆ 7寸全彩中英文互動操作觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設(shè)置),可 選配20個可編程程序，每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段，最多100個階段。
◆ 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，最大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
◆ 多重安全保護(hù)
電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全；
蓋子自鎖功能，防止飛片蓋zi彈開傷人；
雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，最大限度保證實驗人員安全。
◆ 樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護(hù)，有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險。
◆ 一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。
◆ 符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計，取放樣品更方便。
◆ 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE 材料。旋涂托盤采用聚丙烯 (NPP-H) 材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。
◆ 上下雙腔體設(shè)計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。
◆ 可選氮氣吹掃、氮氣保護(hù)，自動滴膠或簡易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。
◆ 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP等多種材料。
旋涂機(jī)技術(shù)參數(shù)：
型號 | MSC | SC1 | SC2 |
轉(zhuǎn)速 | 0-10000rpm | 0-10000rpm | 0-10000rpm |
加速度 | 0-10000rpm/s | 0-10000rpm/s | 0-10000rpm/s |
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 | ±1% | ±1% | ±1% |
勻膠時間 | 0-9999s | 0-9999s | 0-9999s |
工作艙直徑 | 直徑180mm | 直徑180mm | 直徑240mm |
基片尺寸 | 圓片φ≤6時，方片最大 105x105mm | 圓片φ≤6時，方片最大 105x105mm | 圓片φ≤8時，方片最大 140x140mm |
外型尺寸 | L245xW325xH215mm | L245xW325xH285mm | L305xW385xH285mm |
包裝尺寸 | L365xW445xH335mm | 1365xW445xH405mm | L425xW505xH405mm |
整機(jī)重量 | 6.3Kg | 7.6Kg | 11.6Kg |
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