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國(guó)產(chǎn)光學(xué)隔振平臺(tái)具有非常好的動(dòng)態(tài)和靜態(tài)的剛性

閱讀：1100 發(fā)布時(shí)間：2022-12-1

　　國(guó)產(chǎn)光學(xué)隔振平臺(tái)臺(tái)面采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)，上臺(tái)面為430系列高導(dǎo)磁不銹鋼，臺(tái)面按照25mmX25mm孔距均布M6螺紋孔，方便安裝儀器，每個(gè)螺紋孔下方具有獨(dú)立的隔離杯，方便清潔。中間是真蜂窩支撐結(jié)構(gòu)，是把0.25毫米厚度的鋼板加工成蜂巢的結(jié)構(gòu)，增加了臺(tái)面結(jié)構(gòu)的密度，減小體積，采用*的粘合工藝，堅(jiān)固耐用。臺(tái)面的底部和側(cè)板用鋼板作為主體材料，具有非常好的動(dòng)態(tài)和靜態(tài)的剛性。

　　國(guó)產(chǎn)光學(xué)隔振平臺(tái)的特點(diǎn)：

　　1.具有非常好的隔振性能，特別是在低頻2Hz-10Hz達(dá)到90%以上的隔振效率。

　　2.采用慣性傳感器，可以檢測(cè)出六個(gè)自由度的振動(dòng)，并做補(bǔ)償。

　　3.采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)臺(tái)面，厚度可選100/200/300mm。

　　4.進(jìn)口精密主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)。

　　5.隔振性能優(yōu)異，廣泛應(yīng)用于掃描探針顯微鏡，原子力顯微鏡，掃面隧道顯微鏡，激光干涉儀，半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備，三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等。

　　國(guó)產(chǎn)光學(xué)隔振平臺(tái)主動(dòng)隔振支撐部分主要包括了被動(dòng)隔振機(jī)構(gòu)和主動(dòng)隔振器DVIA-M，每個(gè)支撐里面一般會(huì)有4個(gè)DVIA-M系列主動(dòng)隔振器和一臺(tái)主控箱。主動(dòng)隔振器包含了采集信號(hào)的傳感器和消除振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器，主要消除0.5-10Hz的外部振動(dòng),被動(dòng)隔振系統(tǒng)部分同時(shí)承擔(dān)著支撐負(fù)載和隔絕高頻率振動(dòng)的作用?？梢栽诘皖l范圍（0.5-10Hz）提供非常好隔振性能，它可以應(yīng)用于很多對(duì)振動(dòng)要求非常高，甚至具有挑戰(zhàn)的領(lǐng)域，比如高分辨率的光譜儀、高分辨率電子顯微鏡和精密納米科學(xué)研究和制備等。

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