產(chǎn)品名稱：spectron三路吹掃模塊(SBE3)
品牌：德國(guó)spectron
產(chǎn)地：德國(guó)
型號(hào)：SBE3

三路吹掃模塊用于與超高純、強(qiáng)腐蝕或有毒氣體，配有專用惰性氣體吹掃裝置

德國(guó)spectron三路吹掃模塊SBE3產(chǎn)品特性：

•三路吹掃模塊用于與超高純、強(qiáng)腐蝕或有毒氣體，配有專用惰性氣體吹掃裝置
•**小的吹掃空間，只有 1,4 cm3
•集成毛細(xì)管（非常少的吹掃次數(shù)）
•被污染的吹掃氣體可以通過廢氣排放閥排出，不混入下游供氣系統(tǒng)
•在吹掃氣入口和卡套接頭處配有止回閥
•可氣動(dòng)截止閥（可選）
•可選
壓力表（用于低蒸氣壓氣體）
壓減壓閥（安裝在吹掃模塊上）或
壓力控制面板（帶高壓盤管）
•適用于ECD應(yīng)用

德國(guó)spectron三路吹掃模塊SBE3技術(shù)參數(shù)：

進(jìn)氣壓力 P?：** 300 bar
材料：閥體:不銹鋼 316L
膜片: 哈氏合金 C276
閥座: PCTFE or PVDF
進(jìn)-出氣：1/4"-NPT-F
泄漏率：1 x 10?? mbar l/s He
C?-值：0,13

重量：1,6 kg

Spectron是氣體供應(yīng)系統(tǒng)且創(chuàng)新的專家，為廣泛客戶特定需求提供定制化的解決方案。 總部設(shè)在德國(guó)法蘭克福。

Spectron滿足客戶的要求，從用于工業(yè)氣體的簡(jiǎn)單閥門到用于半導(dǎo)體氣體的全自動(dòng)氣柜。公司還提供用于氣體應(yīng)用的報(bào)警和控制系統(tǒng)，以及用于改善或確保氣體純度的氣體凈化系統(tǒng)。