機(jī)床定位激光干涉儀

美國(guó)API激光干涉儀

基本上，激光干涉儀都使用氦氖激光器的632.8 nm波長(zhǎng)的光，橙紅燦爛的光束射向遠(yuǎn)方，發(fā)散角可以小到0.1 mrad，光束截面的光斑均勻。氦氖激光器還可輸出綠光、黃光、紅外光，但只有632.8 nm波長(zhǎng)的光適合作激光干涉儀的光源。其它類(lèi)型的激光器，如半導(dǎo)體（LD）、固體激光器等的相干等性能都遠(yuǎn)不及氦氖激光器，研究人員多有嘗試，但都沒(méi)有成功。

激光干涉儀有很多應(yīng)用，但本質(zhì)都是測(cè)量中學(xué)課本講的“位移"，諸多應(yīng)用都是“位移"的延伸和轉(zhuǎn)化。激光干涉儀有兩個(gè)主流類(lèi)型：?jiǎn)晤l激光干涉儀和雙頻激光干涉儀。

美國(guó)API激光干涉儀單頻干涉儀能做的雙頻激光干涉儀都能做，但雙頻干涉儀能做的單頻干涉儀不見(jiàn)得能做。由于歷史、技術(shù)和商業(yè)原因，兩種干涉儀都有著廣泛應(yīng)用。但在光刻機(jī)上，雙頻激光干涉儀市場(chǎng)。

美國(guó)API激光干涉儀單頻干涉儀不需要對(duì)市場(chǎng)上的氦氖激光器進(jìn)行改造，直接可用。但雙頻激光干涉儀用的激光器需要附加技術(shù)使其產(chǎn)生雙頻（兩個(gè)頻率）。

歷，雙頻激光干涉儀測(cè)量位移的速度不及單頻激光干涉儀，自從發(fā)明了雙折射-塞曼雙頻激光器，雙頻激光干涉儀的測(cè)量速度也達(dá)到每秒幾米，與單頻激光器看齊了。

按產(chǎn)生雙頻的方法，雙頻激光干涉儀分為塞曼雙頻激光（國(guó)外）干涉儀和雙折射-塞曼雙頻激光（國(guó)內(nèi)）干涉儀。

現(xiàn)在干涉儀的指標(biāo)：最小可感知1 nm（十億分之1 m），可以測(cè)量百米長(zhǎng)的零件，且測(cè)量70 m長(zhǎng)的導(dǎo)軌誤差僅為幾微米。