目錄:納特斯（蘇州）科技有限公司>>納米定位臺>>直線定位平臺>> ?WLS-78 直線定位平臺
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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WLS-78 直線定位平臺具有更高剛度，能夠輕松集成到六軸串聯(lián)定位臺。
WLS-78 直線定位平臺
產(chǎn)品描述 WLS-78 直線定位平臺的尺寸為78 x 78 x 15mm，行程范圍為55mm。
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步進(jìn)行程[mm] | 55 |
掃描行程[μm] | >2 |
尺寸[mm] | 78 x 78 x 15 |
重量[g] | 180 |
力特性 |
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最大推力[N] | 2 |
最大負(fù)載[N] | 10 |
最大升力[N] | 1 |
定位性能 |
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開環(huán)最大速度[mm/s] | >5 |
開環(huán)定位分辨率[nm] | <1 |
閉環(huán)最大速度[mm/s] | >1 |
閉環(huán)定位分辨率[nm] | <5 |
選配 |
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材質(zhì) | 標(biāo)配為鋁底座；可選配鋼座（-ST）、鈦基（-TI）；均黑色陽極氧化（-BK） |
真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
無磁 | 可根據(jù)要求定制 |
* 所有技術(shù)規(guī)格參數(shù)均為近似值，由于產(chǎn)品持續(xù)研發(fā)，我們保留更改技術(shù)規(guī)格的權(quán)利，恕不另行通知。
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