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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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WLS-50 直線定位平臺具有更高剛度,能夠輕松集成到六軸串聯(lián)定位臺。
WLS-50 直線定位平臺
產(chǎn)品描述 WLS-50的尺寸為50 x 50 x 15mm,行程范圍為30mm。
概觀 |
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步進(jìn)行程[mm] | 30 |
掃描行程[μm] | >2 |
尺寸[mm] | 50 x 50 x 15 |
重量[g] | 70 |
力特性 |
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最大推力[N] | 2 |
最大負(fù)載[N] | 10 |
最大升力[N] | 1 |
定位性能 |
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開環(huán)最大速度[mm/s] | >5 |
開環(huán)定位分辨率[nm] | <1 |
閉環(huán)最大速度[mm/s] | >1 |
閉環(huán)定位分辨率[nm] | <5 |
選配 |
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材質(zhì) | 標(biāo)配為鋁底座;可選配鋼座(-ST)、鈦基(-TI);均黑色陽極氧化(-BK) |
真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
無磁 | 可根據(jù)要求定制 |
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