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          目錄:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司>>真空鍍膜機>>磁控濺射鍍膜>> VTC-600GD高真空磁控濺射儀

          VTC-600GD高真空磁控濺射儀
          • VTC-600GD高真空磁控濺射儀
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          參考價 面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準
          參考價 面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準
          • 品牌 其他品牌
          • 型號
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 沈陽市
          屬性

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          更新時間:2024-05-08 17:49:49瀏覽次數(shù):479評價

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          應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
          VTC-600GD高真空磁控濺射儀是新自主研制開發(fā)的鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。

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          VTC-600GD 高真空磁控濺射儀是新自主研制開發(fā)的鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600GD高真空磁控濺射儀最多可選配四個靶槍,配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比,其不僅應(yīng)用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設(shè)備,特別適用于實驗室研究固態(tài)電解質(zhì)及OLED等。IMG_257

           

          ·最多可選配四個靶槍,配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜(靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換)。

          ·可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。

          ·體積小,操作簡便。

          ·整機模塊化設(shè)計,真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計,可根據(jù)用戶實際需要調(diào)整。

          ·可根據(jù)用戶實際需要選擇電源,可以一個電源控制多個靶槍,也可多個電源單一控制靶槍。IMG_258

          產(chǎn)品名稱

          VTC-600GD高真空磁控濺射儀

          產(chǎn)品型號

          VTC-600GD

          安裝條件

          本設(shè)備要求在溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
          1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
          2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
          3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥
          4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
          5、通風(fēng)裝置:需要

          主要參數(shù)

          1、電源電壓:220V  50Hz
          2、總功率:<3.5KW
          3、腔體內(nèi)徑:Ø300mm
          4、極限真空度:< E-6mbar(配合本公司設(shè)備使用可達到?E-5mbar)
          5、工作溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實際需要提升溫度)
          6、靶槍數(shù)量:4個
          7、靶槍冷卻方式:水冷
          8、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)
          9、直流濺射功率:500W(可選)
          10、射頻濺射功率:300W
          11、載樣臺:Ø140mm
          12、載樣臺轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)
          13、保護氣體:Ar、N2等惰性氣體
          14、進氣氣路:質(zhì)量流量計控制2路進氣,1個流量為100 SCCM,1個流量為200 SCCM

          15、產(chǎn)品規(guī)格:
          ·尺寸:
          主機尺寸:850mm×760mm×660mm,
          整機尺寸:1300mm×660mm×1200mm;
          ·重量:190kg

          IMG_259


          IMG_261

          序號

          名稱

          數(shù)量

          圖片鏈接

          1

          直流電源控制系統(tǒng)

          (可選)套

          -

          2

          射頻電源控制系統(tǒng)

          1套

          -

          3

          膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)

          1套

          -

          4

          分子泵(德國進口或者國產(chǎn)更大抽速)

          1臺

          -

          5

          冷水機

          1臺

          -

          6

          聚酯PU管(Ø6mm)

          4m

          -


          IMG_263

          序號

          名稱

          功能類別

          圖片鏈接

          1

          金、銦、銀、鉑等各種靶材

          (可選)

          -

          2

          可選配強磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。

          (可選)

          -

           

           

           

           

           

           

           

           

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