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          目錄:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司>>真空鍍膜機>>磁控濺射鍍膜>> VTC-16-1HD單靶磁控濺射儀

          VTC-16-1HD單靶磁控濺射儀
          • VTC-16-1HD單靶磁控濺射儀
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          參考價 面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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          • 品牌 其他品牌
          • 型號
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 沈陽市
          屬性

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          更新時間:2024-05-08 17:50:04瀏覽次數(shù):689評價

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          VTC-16-1HD單靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。

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          VTC-16-1HD單靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。單靶磁控濺射儀配備有一個靶槍,可選擇強磁靶或弱磁靶,弱磁靶用于非導(dǎo)磁材料的濺射鍍膜,強磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比,且具有體積小便于操作的優(yōu)點,且可使用的材料范圍廣,是一款實驗室制備各類材料薄膜的理想設(shè)備。IMG_257

          1、一個靶槍,配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜或配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。
          2、靶頭在樣品臺正下方,脆性靶材安裝更方便,樣品不易被污染。
          3、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。
          4、體積小,操作簡便。
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          產(chǎn)品名稱

          VTC-16-1HD單靶磁控濺射儀

          產(chǎn)品型號

          VTC-16-1HD

          安裝條件

          本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
          1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
          2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
          3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥
          4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
          5、通風(fēng)裝置:需要

          主要參數(shù)

          1、電源電壓:220v  50Hz
          2、功率:900W
          3、腔體內(nèi)徑:φ164mm
          4、極限真空度:9.0×10-4Pa
          5、樣品臺加熱溫度:RT-500℃,精度±1℃(根據(jù)實際需要提升溫度)
          6、靶槍數(shù)量:1個(在真空室下方)
          7、靶槍冷卻方式:水冷
          8、靶材尺寸:φ2〞,厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)
          9、樣品臺:φ86mm
          10、樣品臺:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)。
          11、直流濺射功率:500W;射頻濺射功率:300W。
          12、開關(guān)蓋方式:自動升降上蓋。
          13、工作氣體:Ar等惰性氣體。
          進氣氣路:質(zhì)量流量計進氣,1-100SCCM可調(diào)。

          產(chǎn)品規(guī)格

          14、產(chǎn)品規(guī)格:
          ·尺寸:
          主機尺寸:750mm×450mm×1020mm
          真空室規(guī)格:φ164×172mm
          ·重量:100kg

          標(biāo)準(zhǔn)配件

          1直流電源控制系統(tǒng)1套
          2射頻電源控制系統(tǒng)1套
          3分子泵(德國進口或者國產(chǎn)更大抽速)1臺
          4冷水機1臺
          5冷卻水管(Ø6mm)2根

          可選配件

          1、金、銦、銀、白金等各種靶材,可選配強磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。
          2、膜厚檢測系統(tǒng)。

           

           

           

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