目錄:沈陽科晶自動化設備有限公司>>薄膜生長設備>>薄膜生長輔助設備>> VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機是一種滿足半導體TSV、MEMS、WLP等工藝制程中異形表面的噴膠作業(yè)設備。是一種采用高精度微量液體平流傳輸和超聲波霧化震蕩技術(shù)均勻噴涂在一定溫度的物件表面，多次沉積成均勻涂層膜的納米噴膠設備。VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機采用不銹鋼機身，桌面臺式設計，結(jié)構(gòu)緊湊，七寸全彩觸屏界面，高精密電缸控制，整體設計布局合理，簡單易用。
產(chǎn)品名稱 | VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機 |
主要特點 | 1、可臺面式操作，外形尺寸緊湊 2、超聲波霧化或二流體霧化噴嘴可選 3、底盤旋轉(zhuǎn)加熱，XY電缸移動式噴膠 4、可處理大基片尺寸為8寸晶圓，向下兼容 |
技術(shù)參數(shù) | 1、熱盤溫控范圍：室溫—150℃，溫度分辨率：0.1℃ 2、溫度均勻性：小于±1％（工作范圍內(nèi)） 3、膠體流速范圍：1-20ml/min 4、電缸移動速度：1-200㎜/s 5、電缸定位精度：±0.02㎜ 6、電缸有效行程：300×300㎜ 7、超聲波霧化粒徑：小于50μm |
產(chǎn)品規(guī)格 | 外形尺寸：928（W）×800（D）×510（H）㎜ |
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