目錄:沈陽科晶自動化設備有限公司>>管式爐>> OTF-1200X-S-DVD小型坩堝移動管式爐
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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產(chǎn)品型號 | OTF-1200X-S-DVD小型坩堝移動管式爐 |
主要特點 | 1、一個高熱傳導性的氧化鋁樣品托盤固(50mmLx25mmW)定于K型熱電偶上,手動移動爐管外部磁鐵可推動熱偶和樣品盤在爐管內移動,樣品材料蒸發(fā)或沉積。 2、一塊NIST認證的精密溫度顯示儀表通過法蘭與熱偶連接,實時顯示樣品的溫度。 3、一個磁鐵嵌入到爐管內部的管堵內,另一個磁鐵位于爐管外部。移動外部磁鐵可使熱偶和樣品盤在爐管內移動。 4、爐體可設置30段升降溫程序,其最高溫度為1200℃(位于爐體中心) 5、設備中包含一石英坩堝,可用于放置蒸發(fā)材料或放置沉積基片
6、通過CE認證
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技術參數(shù) | 1、電源:208 - 240 VAC, 50/60Hz 最高功率:1.5KW 2、最高工作溫度:1200℃ 3、連續(xù)工作溫度:1100℃ 4、升溫速率:<= 20 ℃/min 5、加熱區(qū):1)加熱區(qū)長度:200mm(單溫區(qū)) 2)恒溫區(qū)長度: 60mm (溫度偏差+/-1°C,爐體燒至1000℃)
6、溫控系統(tǒng):30段升降溫曲線 采用PID方式調節(jié)溫度,帶有超溫和短偶保護 控溫精度:+/- 1ºC S485 通訊接口 可選: 爐體可通過PC(MTS02-Y)溫控軟件控制,可采用電腦設置和顯示溫度曲線
7、爐管:一根石英管(50mm O.D. x 44mm I.D. x 1000mm L);4個氧化鋁管堵
8、真空法蘭:一對不銹鋼密封法蘭,進氣口為Φ6.35卡套接頭,出氣口為KF25接口(與真空泵對接)
9、真空度:10-2torr (機械泵) |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸: 爐體關閉: 1055mm (L) × 300mm(W) × 400mm(H) 爐體打開: 1055mm (L) × 300mm(W) × 560mm(H) 凈重:22kg |
質保期 | 一年保修,終身技術支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
可選配件 | 1、 真空手動擋板 2、快速連接法蘭 3、多通道氣路系統(tǒng),用于DVD或CVD實驗
4、筆記本店(安裝Window10系統(tǒng)),可用電腦控制設備,Labview軟件溫度控制系統(tǒng),用戶可編輯程序,記錄數(shù)據(jù)和繪制曲線 一個無線控制器,控制范圍300m
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