目錄:沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>真空鍍膜機(jī)>>磁控濺射鍍膜>> VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀
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更新時(shí)間:2022-09-16 14:01:28瀏覽次數(shù):2791評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,地礦,能源,電子,綜合 |
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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,基片極限尺寸為2″,放置樣品的直徑為?50mm,加熱溫度達(dá)500℃??蔀R射金、銀、銅三種靶材,不可以濺射輕金屬和碳。本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺(tái),能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實(shí)驗(yàn)室制備復(fù)膜的樣品。采用PLC控制面板對(duì)設(shè)備進(jìn)行控制,操作方便直觀。該機(jī)設(shè)備小巧,占用實(shí)驗(yàn)室空間少,操作簡(jiǎn)單,應(yīng)用廣泛。因此被廣泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實(shí)驗(yàn)室中。1、PLC控制面板,4.3″觸摸屏,PID控溫方式。
2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。
3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。
4、已通過(guò)CE認(rèn)證。
產(chǎn)品名稱(chēng) | VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-16-3HD | |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) 4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置:不需要 | |
主要參數(shù) | 1、輸入功率:110V/220V通用 2000W(含真空泵) 2、輸出功率:1600VDC 50mA(最大電流) 3、石英罩:?160mm×120mm 4、樣品臺(tái):?50mm(可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái),最高溫度可到500℃;最長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過(guò)5min) 5、真空泵:120L/M旋片式真空泵6、進(jìn)氣口:裝有精密可調(diào)針閥,以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 7、靶材:尺寸直徑?47mm,厚度0.1mm-3mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni, 不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕金屬、Al、Zn、C等。 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:360mm×350mm×3600mm; | |
可選擇配件 | 1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管(600mm) 3、旋片式真空泵(120L/M) 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺(tái) |
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