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1. 桌面型，性能穩(wěn)定、操作簡(jiǎn)便、使用成本極低、易于維護(hù)，高性價(jià)比。

2.小身材，大容量，有效處理面積大

3.采用氣浴電極，清洗效率高。

4.可選擇40KHz或13.56MHz等離子發(fā)生器。

5.對(duì)各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等

物件表面進(jìn)行超清洗和表面改性。

PLUTO-T等離子清洗機(jī)--技術(shù)參數(shù)

1、真空腔規(guī)格: 不銹鋼腔體,直徑150mm*(深)245mm

2、電極：平板氣浴電極，材質(zhì)6061-T6鋁合金

3、電極尺寸：95*170mm

4、頻率：40KHz (可選配13.56MHz射頻等離子源)

5、功率：0-300W連續(xù)可調(diào)，精度1W,可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)

6、氣體控制：針式氣體流量閥， 0-300ml   1路氣體

7、真空計(jì)：電偶式真空計(jì)，精度：0.01mTor

8、控制方式：4.3寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式

9、控制軟件功能：界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)