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徠卡離子束切割儀的優(yōu)勢(shì)以及技術(shù)參數(shù)
離子束切割儀是一種用于物理學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器，用于樣品的截面制備及平面拋光。
設(shè)備利用三束離子束對(duì)樣品進(jìn)行快速切割和拋光，避免了機(jī)械切割研磨帶來的樣品表面微觀損傷，可以獲得高質(zhì)量的原位微觀形貌信息，為電鏡觀測(cè)提供真實(shí)可靠的樣品制備?？捎糜跇悠返钠矫婧徒孛鎾伖?。適用于半導(dǎo)體材料、聚合物材料、金屬等各種材料。
Leica EM TIC 3X 通過離子槍激發(fā)獲得的離子束，以垂直于樣品側(cè)面縱向轟擊樣品，可獲得高質(zhì)量無應(yīng)力“切割”截面，便于SEM觀察。該處理方法適用于多層膜材料、軟硬復(fù)合材料等高難度制備樣品，并且操作簡(jiǎn)單，可有效避免涂抹效應(yīng)，不需要大量摸索條件即可獲得理想的截面，使樣品暴露內(nèi)部細(xì)微結(jié)構(gòu)信息。
徠卡離子束切割儀主要技術(shù)參數(shù)：
•可容納zui大樣品尺寸50×50×10mm，可獲得有效切割截面面積＞4mm×1mm
•三把離子槍，離子束能量1keV-10keV，切割速率300μm/h (Si@10kV, 3.5mA, 100μm切割高度)
•離子束處理過程中樣品位置固定，無需偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，無投影效應(yīng)，熱傳導(dǎo)性好
•可進(jìn)行離子束切割或刻蝕，可選擇任意離子槍
•真空泵解耦合設(shè)計(jì)，無震動(dòng)傳導(dǎo)
•觸摸屏操作面板，直觀、簡(jiǎn)易操作，可編程可軟件升級(jí)
•可選配：液氮制冷冷臺(tái)+30至 -160℃，25L液氮罐及自動(dòng)泵，具有自動(dòng)快速制冷功能
•可選配：三樣品臺(tái)，可一次連續(xù)處理三個(gè)樣品