什么是衍射光柵?
衍射光柵是一種將能量衍射成其組成波長(zhǎng)的光學(xué)元件。衍射光柵和棱鏡之間的主要區(qū)別在于棱鏡的色散是非線性的,而光柵提供線性色散。光柵通常也更有效,并且不會(huì)受到限制棱鏡有用波長(zhǎng)范圍的吸收效應(yīng)的影響。
光柵的凹槽密度、深度和輪廓決定了光柵的光譜范圍、效率、分辨率和性能。
通常有兩種不同類型的衍射光柵——刻劃光柵和全息光柵。
刻劃衍射光柵是由刻劃引擎產(chǎn)生的,該刻劃引擎使用金剛石尖工具在光柵基板(通常是涂有薄反射層的玻璃)上的涂層上切出凹槽。 全息衍射光柵是使用光刻技術(shù)生產(chǎn)的。
衍射光柵可以是反射光柵或透射光柵,但是,本指南將主要關(guān)注反射光柵。
最常見的反射式衍射光柵類型是平面和凹面光柵,但根據(jù)應(yīng)用它們也可以是其他輪廓,例如凸面或環(huán)形。
衍射光柵通常由三層組成:基底(通常是玻璃)、形成凹槽的環(huán)氧樹脂或金屬層以及反射涂層。 光柵可以具有正弦或閃耀輪廓。正弦光柵通常比閃耀光柵提供更低的效率,但通常提供更廣泛的光譜覆蓋范圍。
閃耀光柵具有鋸齒形輪廓,通常在規(guī)定的光譜范圍內(nèi)提供更高的效率。
反射光柵通常涂有反射涂層,通常是帶有保護(hù)涂層的鋁(用于 UV-VIS-NIR 使用)或金(用于 IR 使用)。 透射光柵通常帶有抗反射涂層。
商業(yè)衍射光柵通常是由子母版生產(chǎn)的復(fù)制品光柵,其可能比母版衍射光柵低幾代。
通常,生產(chǎn)主衍射光柵的成本昂貴,并且通過提供復(fù)制光柵(其提供幾乎無法區(qū)分的性能),一個(gè)主衍射光柵可以生產(chǎn)數(shù)千個(gè)復(fù)制品,從而降低了衍射光柵的單位成本。
光柵方程
反射光柵的一般光柵方程為:
其中
n = 衍射級(jí)數(shù)
λ = 衍射波長(zhǎng)
d = 光柵常數(shù)(凹槽之間的距離)
θi = 入射角(從法線測(cè)量)
θ = 衍射角(從法線測(cè)量)
該方程允許您非常精確地預(yù)測(cè)任何給定波長(zhǎng)的光方向。
光柵色散
衍射光柵用于將光分成不同的波長(zhǎng),或色散光。角色散是衍射角的變化與波長(zhǎng)的微小變化之間的相關(guān)性。
角色散為:
其中:
b = 繞射角
k = 衍射級(jí)
n = 溝槽密度
線性色散將隨著光柵到探測(cè)器的距離而變化。 線性色散為:
其中:
b = 繞射角
k = 衍射級(jí)
n = 溝槽密度
LB = 光柵到探測(cè)器的距離
利用這些基本方程,人們可以設(shè)計(jì)出高精度的光譜儀器。 它們用于設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室光譜儀、高光譜成像儀、電信、脈沖激光和現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)中的其他設(shè)備中使用的光譜傳感器。
光柵效率
光柵的效率取決于幾個(gè)條件:
• 波長(zhǎng)
• 偏振
• 入射角
• 衍射級(jí)
• 凹槽形狀
• 金屬涂層(用于反射光柵)
凹槽的形狀將極大地影響反射式光柵的衍射能量。 反射光柵的高效率是通過閃耀或鋸齒形凹槽實(shí)現(xiàn)的(見圖 3)。 因此,通常要求使用閃耀光柵。
可以使用幾種不同的方法來閃耀光柵。我們使用專有技術(shù)可以創(chuàng)建紫外閃耀光柵,與離子蝕刻閃耀全息光柵相比,其效率更高。
漫射光
當(dāng)選擇的波長(zhǎng)以外的波長(zhǎng)出現(xiàn)在測(cè)量平面上時(shí),就會(huì)出現(xiàn)雜散光。 它通常是由衍射、光柵表面缺陷引起的光散射或重影級(jí)(例如刻劃光柵間距中的周期性誤差)引起的,導(dǎo)致波長(zhǎng)遵循光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)的非預(yù)期路徑。
雜散光的影響是在任何給定波長(zhǎng)下產(chǎn)生明顯較高的信號(hào)電平,并對(duì)信噪比 (SNR) 產(chǎn)生負(fù)面影響。我們使用的專有閃耀技術(shù)可顯著減少閃耀光柵中的雜散光,特別是與離子光柵相比 -蝕刻全息光柵。
偏振
光源的偏振會(huì)極大地影響光柵的效率。 重要的是要了解從光柵衍射的光能通常會(huì)發(fā)生偏振。 因此,當(dāng)用非偏振光照射光柵時(shí),產(chǎn)生的衍射能量將被偏振,如下圖所示。 較高的凹槽頻率會(huì)增加偏振分離。
除非另有說明,大多數(shù)光柵都經(jīng)過調(diào)整以實(shí)現(xiàn)非偏振光的最大效率。 然而,一些光柵將標(biāo)有 P 偏振或 S 偏振的最大效率。 P 偏振,也稱為 TE 偏振,是指入射光平行于光柵凹槽偏振。 S偏振,也稱為TM偏振,是指入射光垂直于光柵凹槽偏振。有趣的是,人眼只能看到(或感知)電矢量(E)。
圖 1.沿 X 方向傳播的光在 YZ 平面中發(fā)生偏振。 “E"是電矢量,在該圖中,它平行于 Z 平面。 “H"是磁矢量,它平行于Y平面。
刻劃光柵與全息光柵
由于制造過程的機(jī)械性質(zhì),無法生產(chǎn)出沒有缺陷的刻劃衍射光柵,這些缺陷可能包括周期性誤差、間距誤差和表面不規(guī)則性。 所有這些都會(huì)增加雜散光和重影(由周期性誤差引起的錯(cuò)誤光譜線)。
從以前看,刻劃衍射光柵比全息衍射光柵提供更高的效率,但隨著閃耀全息衍射光柵的引入,情況不再總是如此。
用于制造全息衍射光柵的光學(xué)技術(shù)不會(huì)產(chǎn)生周期性誤差、間距誤差或表面不規(guī)則性。 這意味著全息光柵顯著減少了雜散光(與刻劃光柵相比,雜散光通常低 10 倍)并且沒有重影。
此外,與全息光柵相比,凹面光柵對(duì)于刻劃光柵存在特定的問題。 刻劃凹面光柵不能用于平場(chǎng)成像應(yīng)用,因?yàn)楣鈻诺耐队鞍疾蹐D案總是產(chǎn)生直線、等距線,因此需要額外的光學(xué)器件來校正像差。 然而,全息凹面光柵可以設(shè)計(jì)和生產(chǎn)帶有彎曲凹槽的產(chǎn)品,從而產(chǎn)生像差校正圖像。 全息凹面光柵還可以生產(chǎn)出比刻劃凹面光柵更低的 f 值。
對(duì)于幾乎所有應(yīng)用,與刻劃衍射光柵相比,閃耀全息衍射光柵將提供明顯更好的整體性能。 僅當(dāng)凹槽密度或光譜范圍要求無法使用閃耀全息衍射光柵時(shí),才應(yīng)使用刻劃衍射光柵。
主衍射光柵與復(fù)制衍射光柵
在大多數(shù)情況下,復(fù)制品衍射光柵的光學(xué)性能實(shí)際上與生產(chǎn)它的母版的性能沒有區(qū)別。 很少有應(yīng)用能夠受益于使用主光柵而不是復(fù)制光柵。
復(fù)制品光柵的成本通常也比原版光柵低(特別是對(duì)于批量生產(chǎn)),并且光柵與光柵之間具有更好的一致性。
我們的專有閃耀技術(shù)還意味著我們的復(fù)制閃耀光柵表現(xiàn)出非常高的效率(尤其是在紫外線下),并且與使用其他類型閃耀方法生產(chǎn)的光柵相比,雜散光顯著降低。
涂料
根據(jù)應(yīng)用和所需的波長(zhǎng)范圍,衍射光柵可以提供多種不同的涂層選項(xiàng)。
對(duì)于紫外線、可見光和紅外線應(yīng)用,通常使用鋁涂層,因?yàn)榕c銀相比,鋁涂層更耐氧化,并且具有更好的紫外線性能。
鋁在 200 nm 至遠(yuǎn)紅外范圍內(nèi)的平均反射率大于 90%,但在 750 - 900 nm 區(qū)域除外,該區(qū)域的平均反射率約為 85%。
銀涂層可以在 450nm 至 2μm 的可見光和近紅外波段提供更好的性能。
對(duì)于紅外性能,金涂層在 700nm 至 10μm 范圍內(nèi)提供約 97% 的高反射率。
衍射光柵上提供的典型涂層包括:
• 裸鋁
• 受保護(hù)的鋁(具有 MgF2 或 SiO2 層來保護(hù)鋁)
• 增強(qiáng)型鋁(鋁頂部的多層電介質(zhì)膜用于增加可見光或紫外線區(qū)域的反射率)
• 受保護(hù)的銀
• 紅外用途金(700nm 至 10μm ~97%R)
• 還可提供專業(yè)涂層,例如低至 120 nm 的 DUV 涂層。
全息光柵的類型
全息光柵是利用全息干涉圖案的光刻技術(shù)制造的衍射光柵。
兩束相交的激光束產(chǎn)生等間隔的干涉條紋,這些干涉條紋被投射到光柵基板上的光刻膠材料上。 光致抗蝕劑的溶解與條紋的強(qiáng)度成比例,從而形成具有正弦輪廓的全息光柵。
然后在全息光柵上涂上反射涂層。 通常可以是鋁、增強(qiáng)鋁、銀或金。
由于全息衍射光柵沒有周期性誤差或缺陷,因此與刻劃光柵相比,它的雜散光明顯減少,并且沒有重影效應(yīng)。
全息光柵可以被閃耀以產(chǎn)生在限定的光譜區(qū)域內(nèi)提高了效率的閃耀光柵。
正弦全息光柵
正弦光柵是一種具有正弦凹槽輪廓的衍射光柵,其中凹槽是對(duì)稱的并且沒有閃耀方向。
它們通常使用干涉光刻來生產(chǎn),從而產(chǎn)生光滑的凹槽表面并消除刻劃光柵中發(fā)現(xiàn)的周期性誤差。
通常,與閃耀光柵相比,正弦光柵提供更寬的光譜覆蓋范圍,但效率較低。
然而,在凹槽間距和波長(zhǎng)比接近一致的某些條件下,正弦光柵可以表現(xiàn)出與閃耀光柵相同的效率。
閃耀全息光柵
閃耀全息光柵是一種衍射光柵,其中正弦輪廓已轉(zhuǎn)換為“鋸齒"輪廓。 這種鋸齒形輪廓有效地提高了閃耀光柵在所需波長(zhǎng)范圍內(nèi)的效率。
閃耀波長(zhǎng)是光柵提供最大效率的波長(zhǎng)。 閃耀全息衍射光柵可以使用多種技術(shù)來制造。
通常,閃耀光柵使用離子束蝕刻來創(chuàng)建鋸齒輪廓,但是,我們使用專有技術(shù)來創(chuàng)建閃耀光柵,與離子蝕刻閃耀光柵相比,該光柵具有高紫外線效率和顯著降低的雜散光。
閃耀全息光柵提供與閃耀刻紋光柵相似的高效率,但雜散光顯著降低且無重影。
凹面光柵
凹面光柵的主要優(yōu)點(diǎn)是它可以用作儀器中的主要色散和聚焦元件。 凹面光柵減少了所需光學(xué)元件的數(shù)量,從而提高了吞吐量和儀器效率。
凹面光柵通常有四種類型:
• 閃耀全息凹面光柵
• 像差校正平場(chǎng)成像光柵
• 恒定偏差單色儀光柵
• 羅蘭型凹面光柵
閃耀全息凹面光柵
凹面閃耀光柵類似于標(biāo)準(zhǔn)閃耀光柵,其中凹槽輪廓已被修改以提高指出光譜區(qū)域的效率。 與某些其他類型的閃耀全息凹面光柵不同,我們生產(chǎn)的凹面光柵采用一種工藝生產(chǎn),該工藝可產(chǎn)生在光柵表面變化的閃耀輪廓,從而提高整個(gè)圖像平面的效率。 通??蓪?shí)現(xiàn) >80% 的效率。
像差校正(平場(chǎng)成像)凹面光柵
像差校正凹面光柵(或平場(chǎng)成像光柵)具有既不平行也不等距的凹槽,旨在消除像散并允許在平面上成像完整的光譜范圍。
這使得像差校正凹面光柵非常適合與平面陣列探測(cè)器(例如光電二極管陣列(PDA)或電荷耦合器件(CCD)探測(cè)器)一起使用。
恒定偏差單色儀凹面光柵
恒定偏差單色儀光柵是掃描單色儀中使用的一種凹面光柵,其中光柵旋轉(zhuǎn)并從入口狹縫穿過出口狹縫掃描信號(hào)。 入射信號(hào)和衍射信號(hào)之間的偏離角保持恒定。
與平面光柵相比,恒定偏差凹面光柵的主要優(yōu)點(diǎn)是它不需要準(zhǔn)直和聚焦光學(xué)器件,減少了光學(xué)元件的數(shù)量并增加了吞吐量。它還允許更緊湊的儀器設(shè)計(jì)。
羅蘭型凹面光柵
羅蘭型凹面光柵是一種凹槽是直且等距的光柵。這種類型的凹面光柵將光譜衍射到羅蘭圓上,羅蘭圓被定義為圓的直徑等于凹面光柵的曲率半徑的圓。羅蘭型凹面光柵存在像散問題,但其他類型的像差很小。
脈沖壓縮光柵
脈沖壓縮光柵是一種特殊類型的平面正弦光柵,用于激光啁啾脈沖壓縮,通常優(yōu)化用于 1053nm。
脈沖壓縮光柵需要具有非常高的損傷閾值和高效率(利特羅入射、S 偏振>90%)。
透射光柵
透射光柵的生產(chǎn)方式與反射光柵相同,但凹槽設(shè)計(jì)用于衍射透射光。透射光柵效率高,并且通常比反射光柵更容易對(duì)準(zhǔn)。 為了產(chǎn)生高效率,透射光柵通常需要深槽輪廓。透射光柵通常帶有抗反射涂層。
我們不生產(chǎn)透射光柵。
電信光柵
現(xiàn)代電信允許通過光纖傳輸大量信息。 光柵可以通過分離各個(gè)波長(zhǎng)來管理光纖中的信號(hào),從而允許訪問信息。
電信應(yīng)用需要具有極低偏振相關(guān)損耗 (PDL) 和高衍射效率的光柵。 它們還需要具有高度的環(huán)境穩(wěn)定性和非常好的光柵重復(fù)性。
關(guān)于我們
我們自 2004 年以來一直在生產(chǎn)大批量平面、非球面和自由形狀反射光學(xué)器件、中空后向反射器和全息衍射光柵。
我們主要使用光學(xué)復(fù)制工藝,使我們能夠以比傳統(tǒng)批量制造更低的成本提供高保真、高規(guī)格的精密光學(xué)器件。
我們的關(guān)鍵能力之一是制造表面尺寸低至 λ/10 或更好的自由曲面光學(xué)器件、離軸拋物面鏡和橢球面鏡。 我們還制造平面、凹面和凸面全息衍射光柵,這些光柵可以使用我們專有的閃耀技術(shù)作為閃耀光柵提供,與傳統(tǒng)的離子蝕刻光柵相比,該技術(shù)不僅在紫外線下提供高效率,而且雜散光更低。
我們的高精度復(fù)制光學(xué)器件包括球面鏡、自由曲面鏡和非球面鏡(同軸或離軸拋物面鏡、橢圓鏡、環(huán)形鏡和柱面鏡)以及后向反射器、納米結(jié)構(gòu)、混合光學(xué)器件和復(fù)雜光學(xué)器件。
我們已通過 ISO 9001:2015 認(rèn)證且符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn),我們的生產(chǎn)和測(cè)試區(qū)域符合太空標(biāo)準(zhǔn),提供無硅生產(chǎn)環(huán)境,我們可以在其中復(fù)制用于星載望遠(yuǎn)鏡和光學(xué)互連系統(tǒng)的離軸拋物面、橢球面和自由曲面鏡。
我們?yōu)樵S多項(xiàng)目提供了多種超低雜散光光柵,包括軌道碳觀測(cè)站 (OCO) 和臭氧繪圖分析套件 (OMPS)。
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