環(huán)形激光陀螺儀組件或某些科學應用中的所謂超級鏡需要具有極低損耗（即吸收和散射）的鍍膜光學元件。這些反射鏡還具有 R > 99.998% 和總損耗 < 10 ppm 的最大反射率。
筱曉使用德國改進的 IBS 機器，能夠在超拋光基材上生產(chǎn)涂層。機器和環(huán)境的清潔度在專用的超凈室中保持，并在此進行廣泛的基材預處理和后處理。
用于檢查程序的測量設備，例如白光輪廓儀和高分辨率顯微鏡（高達 x 1000）已經(jīng)到位。定制的腔衰蕩設置允許以最多四位小數(shù)的精度確定反射并參考損耗。
位于耶拿的弗勞恩霍夫應用光學和精密工程研究所測量了我們當前生產(chǎn)的 633 nm 超級鏡的總背散射（TSB，如 ISO 13696 中所述），并達到了 TSB = 1.1 ppm 的值。 < 15 ppm 的典型吸收和剩余透射率合計相當于至少 99.998% 的反射率。對于更長的波長，甚至可以達到 99.999%，這非常接近 R = 100% 的激光鏡。
結(jié)果已通過我們的內(nèi)部腔衰蕩設置和散射測量得到證實。對于上述值，使用表面粗糙度 < 1 ? rms 的超拋光基板是不可少的。用白光輪廓儀檢查它們的質(zhì)量。下面是一些測量值：
Scatter TSB | Absorption | Reflection CRD | |
HR 532 nm?/?0° | 4.9 ppm1) (int. ARS) | 10.2 ppm 2) | > 99.997% 2) (T~5 ppm) |
HR 633 nm?/?0° | 1.1 ppm 1) | > 99.998% (T~5 ppm) | |
HR 1064 nm?/?0° | (< 1 ppm) 3) | < 2 ppm 4) | > 99.999% (T~5 ppm) |
HR 2940 nm?/?0° | 24 ±12 ppm6) | 99.994% 5) (T=36 ppm) | |
1) Measured at IOF Jena; 2) Measured at LZH; 3) Calculated from surface roughness; 4) Measured at ILT Aachen; 5) measured by customer; 6) 1-R-T
特點
•非常高的反射率(在可見光和近紅外光譜范圍內(nèi)R > 99.99%•R > 99.999% 在1000 – 1600 nm 之間的幾個波長處得到證實)
•中心波長可以定制（起訂量：6片）
•所有用于 CRD 實驗的反射鏡都帶有背面增透膜
•平面和球形彎曲熔融石英基材
•優(yōu)質(zhì)拋光，RMS 粗糙度：≤ 1.5 ?
產(chǎn)品應用
● 激光陀螺
●CRD 腔衰蕩系統(tǒng)設計
● 光通道診斷
參數(shù)
材質(zhì) | 紅外級熔融石英 Infrasil |
形狀 | 圓形 |
直徑(?) | 12.7，25.4 mm ,50.8(-0.1 mm) |
厚度(t) | 6.35 mm (±0.1 mm) |
邊緣厚度 | 6.35 mm |
平行度 | 5? |
| Guaranteed Roughness | Flatness | Availability | |
| Premium | RMS<0.2 nm*(<2?) | <入/20 | ?12.7-25 mm always 2,000 pcs.on stock (various radii and plane) |
| superpolished | RMS<0.1 nm*(<1?) | <入/10 | on request |
* Tested with Zygo NewView 9000 within sample length 3- 1000 um
光學參數(shù) | 正面(S2) | 光學參數(shù) | 背面(S1) |
形狀 | 凹面 | 形狀 | 平面 |
曲率半徑 | 1,000 mm (±1 %) | 倒角 | 0.3 mm (±0.1 mm) |
倒角 | 0.3 mm (±0.1 mm) | 測試區(qū) ?e | 20 |
測試區(qū) ?e | 20 | 曲面容差 | 3/0.2(0.2) [L/10 @546.1nm] |
3/-(0.2) [L/10 reg. @546.1nm] | 清潔度 | 5/2x0.04; L1x0.004 | |
清潔度 | 5/2x0.04; L1x0.004 |
我們的測試方案：
相關(guān)測試
圖1測量波長范圍 1250 – 1450 nm 的低損耗反射鏡的反射率和透射率光譜 a) 反射率與波長的關(guān)系b) 透射率與波長的關(guān)系
表 1：低損耗反射鏡的反射率和透射率值；通過腔衰蕩光譜測量的反射率，AOI=0°
直接測量光學損失
圖 2：1550 nm 的低損耗反射鏡的反射率、透射率和損耗光譜 a) 針對最高反射率進行了優(yōu)化（透射率 ~ 0）b) 設計用于 T ≈ S + A
圖 3：a) 用于 UV 的各種低損耗反射鏡的反射光譜 b)用于 VIS-NIR 光譜范圍的各種低損耗反射鏡的反射光譜所有測量均在第 33-35 頁所述的 CRD 設置下進行。請注意，這些鏡子是專門為相對較高的透射率而設計的。
腔衰蕩時間測量和參考數(shù)據(jù)
使用諧振器長度 L=228mm 測量的具有 R=99,995% 的 450nm 高反射鏡對的示例性單指數(shù) CRD 曲線
超光滑633nm激光陀螺光損耗測試
對于 IBS 上的低損耗涂層，基材表面顯示的典型散射損耗
內(nèi)部測試設備：
在所有空間頻率上始終保持低粗糙度值 具有不同放大倍率的 Premium 基板的示例性粗糙度測量證明了高質(zhì)量 不管采樣長度是多少。
定制產(chǎn)品提供參數(shù)示例
訂購信息：
CRD- □□□□-☆-▽
□□□□: 尺寸
126: 直徑：12.7X厚度6.35mm
*****
256: 直徑：25.4X厚度6.35mm
508:直徑：50.8X厚度8mm
其他
☆ : 反射率
39:＞ 99.9%
49:＞ 99.99%
▽: Operation Wavelength Range
760:760nm
980: 980nm
1064: 1064nm
1512:1512nm
2000:2000nm
2327:2327nm
型號列表
波長 | 基片材料 | 數(shù)量 | 直徑(英寸) | 曲率 | 反射率 | 入射角 | 光楔 | PN # |
2327 | Infrasil 302 | 7 | 0.5" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-126-49-2327 |
2004 | Infrasil 302 | 3 | 1.0" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-246-49-2004 |
2050 | Infrasil 302 | 1 | 0.5" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-126-49-2050 |
1742 | Infrasil 302 | 5 | 0.5" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-126-49-1742 |
1650 | Corning 7980 | 5 | 0.5" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-126-49-1650 |
1600 | Corning 7980 | 9 | 0.5" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-126-49-1600 |
1550 | Corning 7980 | 10 | 0.5" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-126-49-1550 |
1550 | Corning 7980 | 2 | 1.0" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-246-49-1550 |
1512 | Corning 7980 | 2 | 0.5" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-126-49-1512 |
1434 | Infrasil 302 | 1 | 1.0" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-246-49-1434 |
0760 | Corning 7980 | 1 | 0.5" | 1m ROC | >?99.995?% | 0 | None | CRD-126-49-0760 |
0760 | Corning 7980 | 4 | 1.0" | 1m ROC | >?99.995?% | 0 | None | CRD-126-49-0760 |
1392 | Corning 7980 | 1 | 0.5" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | 30? | CRD-126-49-1392 |
0633 | Corning 7980 | 1 | 1.0" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-246-49-0633 |
1064 | Corning 7980 | 1 | 1.0" | 1m ROC | >?99.99?% | 0 | None | CRD-246-49-1064 |
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