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LW400T大平臺(tái)有限遠(yuǎn)芯片檢查顯微鏡
LW400T廣泛的應(yīng)用于透明，半透明或不透明物質(zhì)的觀測(cè)。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)，落射照明器、平場(chǎng)金相物鏡，大視野目鏡，圖像清晰、襯度較好，同時(shí)配有偏光裝置，是專門為檢測(cè)晶圓而設(shè)計(jì)制造的。
大平臺(tái)有限遠(yuǎn)芯片檢查顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)配置
目鏡 | 大視野 WF10X(Φ18mm) |
物鏡 | 長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無蓋玻片) PL 5X/0.12 |
長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無蓋玻片)PL L10X/0.25 | |
長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無蓋玻片)PL L20X/0.40 | |
長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無蓋玻片)PL L40X/0.60 | |
長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡(無蓋玻片)PL L80X/0.80 | |
目鏡筒 | 三目鏡,傾斜30?,(內(nèi)置檢偏振片,可進(jìn)行切換) |
落射照明系統(tǒng) | 6V 20W鹵素?zé)?亮度可調(diào) |
落射照明器帶視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、起偏振片,(黃,藍(lán),綠)濾色片和磨砂玻璃 | |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 載物臺(tái)升降,粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 微動(dòng)格值0.7μm, 粗動(dòng)松緊可調(diào),帶鎖緊和限位裝置 |
轉(zhuǎn)換器 | 五孔 (外向式滾珠內(nèi)定位) |
載物臺(tái) | 三層機(jī)械移動(dòng)式尺寸: 280mmX270mm,移動(dòng)范圍: 204mmX204mm |
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