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一、電子制造業(yè)廠萬級無塵車間特點(diǎn):
潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、無塵車間截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類無塵車間對靜電要求極其嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。文本標(biāo)簽:電子制造業(yè)廠萬級無塵車間潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、無塵車間截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類無塵車間對靜電要求極其嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。 一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。凈化車間報價
二、電子無塵車間清潔要求:
(1)清潔潔凈室內(nèi)墻體時,應(yīng)使用潔凈工程潔凈室無塵布。
(2)用90%去離子水和10%的異丙醇配置清潔劑。
(3)使用已獲批準(zhǔn)的凈化工程潔凈室去污劑。
(4)每天都要檢查無塵車間和裝備間的垃圾箱,并及時清走。
(5)每塊地板都要吸塵處理。并在“無塵車間清潔記錄”表上標(biāo)明工作完成情況。例如在哪結(jié)束從哪開始。
(6)清潔無塵凈化工程潔凈室的地面時,應(yīng)先關(guān)閉凈化系統(tǒng),并使用無塵室拖把。
(7)在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有高效過濾器的真空吸塵器。
(8)無塵室所有的門窗都需要清潔、保養(yǎng)。
(9)潔凈室每天需吸塵,拖地;一周需擦一次墻面、門窗。
(10)無塵車間架空地板下也要吸塵及擦拭。
(11)電子無塵車間三個月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。
(12)在潔凈室工作時一定要記住,永遠(yuǎn)是由上往下擦,從離門遠(yuǎn)的地方向門的方向擦。
三、無塵車間的分類
(1)工業(yè)無塵車間
工業(yè)無塵車間以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
(2)生物無塵車間
生物無塵車間主要控制有生命微粒與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為:
A、一般生物潔凈室:主要控制微生物()對象的污染。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕,內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例:制藥工業(yè)、醫(yī)院(手術(shù)室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。
B、生物學(xué)安全潔凈室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例:學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程(重組基因、疫苗制備)。
無塵車間的裝修一般對環(huán)境衛(wèi)生有一定要求,這也與行業(yè)特點(diǎn)有關(guān)。車間地面的出現(xiàn)為無塵車間的地面裝飾提供了新的材料。 它具有清洗方便等許多特點(diǎn),可以在很大程度上滿足車間生產(chǎn)地面裝飾的要求。 在車間使用環(huán)氧地坪需要無塵處理,這對于車間地面的應(yīng)用具有重要意義。
無塵車間安裝內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外,制程設(shè)備也包括在內(nèi),本節(jié)將對該二系統(tǒng)之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說明。
無塵車間安裝內(nèi)之生產(chǎn)制造設(shè)備注意之重點(diǎn)有三:
1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng):
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備,尤其須注意活動部分之發(fā)塵。
b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因,故應(yīng)配備過濾裝置。
d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時,事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu),規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備,應(yīng)設(shè)置在無塵車間安裝外面或回風(fēng)區(qū),并加裝排氣管線排氣。
f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時,其構(gòu)造須考慮到容易清潔,不易積累污染物。
g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃,以避免微塵之堆積。
h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制,避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。
i.當(dāng)設(shè)備維修時易產(chǎn)生微塵粒子,故維修時盡量于清潔室外進(jìn)行,并加隔離柵隔離。
j.對于施工或維修之廠商,應(yīng)告知進(jìn)出無塵車間安裝之各項(xiàng)規(guī)定,且負(fù)責(zé)應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。
k.應(yīng)有無塵車間安裝工具組,但不得帶出無塵車間安裝外使用。
l.規(guī)劃空間時若能臨近無塵車間安裝設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊置放室,將是一理想之規(guī)劃。
2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施:
a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因,故需將發(fā)塵部分掩蓋之。
b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備,若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。
c.在操作時,盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
d.不得有太大或不必要的操作動作,以免卷起附近之灰塵。
e.各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。
f.為不使氣體或液體滯留,造成微污染,故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。
3.自動化與無塵化:
a.設(shè)立自動化傳送系統(tǒng),可減少人員方面所帶來的污染,唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴,須詳加評估。
b.建立管制項(xiàng)目如進(jìn)入無塵車間安裝人員的限定,無塵車間安裝作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則,無塵車間安裝管理規(guī)則等,這些規(guī)則已在前面敘述,此處不再說明。
在無塵車間安裝之維護(hù)管理方面,可分三部分加以說明:
1.建筑物之維護(hù)管理:
a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔。
b.地板之清掃管理及損壞更新。
c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補(bǔ)。
d.窗戶及門之保養(yǎng)等。
2.環(huán)境測定與管理:
無塵車間安裝內(nèi)之運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測,以確實(shí)掌握質(zhì)量,若有數(shù)據(jù)異常,可立即做緊急處理。
3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護(hù)管理:
a.溫、濕度及塵埃濃度管理,在前面以述及,唯其量測儀器應(yīng)做定期校正檢驗(yàn),若有設(shè)備移動或施工時須局部測量。
b.過濾網(wǎng)之管理:定期檢查及更換,表6為各種過濾網(wǎng)之檢查及更換周期。
c.空氣調(diào)節(jié)器管理:定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況,冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。
d.送風(fēng)機(jī)之管理:定期檢查送風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。如表7所示為送風(fēng)機(jī)之各項(xiàng)檢查內(nèi)容及周期。
e.風(fēng)管及出風(fēng)口之管理:檢查風(fēng)管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。
f.測試及量測儀器管理:定期校正及保養(yǎng)。
g.室內(nèi)壓力管理:連續(xù)監(jiān)視室內(nèi)壓力記錄,以維持正壓為基準(zhǔn)。
h.冷凍主機(jī)、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理:定期檢查保養(yǎng)及記錄運(yùn)轉(zhuǎn)狀況及水質(zhì)變化分析,以調(diào)整加藥量等。
i.無塵車間安裝停止運(yùn)轉(zhuǎn)再開機(jī)要點(diǎn)管理:啟動后立即進(jìn)行微塵粒子之測試,須無塵車間安裝恢復(fù)穩(wěn)定正常時再開始作業(yè)。
無塵車間安裝內(nèi)用品的管理
無塵車間安裝內(nèi)用品除了進(jìn)出無塵車間安裝用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套等,尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運(yùn)車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。
潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會發(fā)塵者為基本條件,且其布料為不易燃燒、不起毛,其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質(zhì),另外經(jīng)過磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小,洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙或無紡布制成,帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同,二者在穿戴使用時,除了只露出眼睛和臉表面部分外,其它部分均需包覆,在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住,不能留有空隙,頭發(fā)亦不能露出來。無塵車間安裝用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件,容易洗滌,底則采用塑料底,布質(zhì)部分則采用與潔凈服相同材質(zhì)即可,鞋子穿著時潔凈衣腳跟部分應(yīng)*塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂(Viny1),在使用過程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用,手套表面有粉質(zhì)時須去除或停用,原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。
潔凈衣鞋帽子等須由專人管理,并定期做清洗,清洗須在無塵車間安裝內(nèi)進(jìn)行。并以純水配合清潔溶劑,并經(jīng)約0.2μm之過濾器為之。一般洗滌周期視潔凈度等級而定,在高潔凈區(qū)(CLASS1)為2~3天,其它區(qū)域則為五天至一星期,洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。潔凈衣之置放場所亦須為無塵車間安裝,備用品或新品存放柜內(nèi),正使用者則吊掛衣架上,以方便取用。桌椅一般以不銹鋼材質(zhì),并需表面加工處理為之,若不得不使用鍍鋅品或木制品,其表面須施環(huán)氧樹脂(Epxoy)加工以防表面發(fā)塵。工作桌好有打洞,邊緣有倒角。以利氣流之運(yùn)動。椅子盡量采用沒有背及腳踏板者,椅腳高度以坐下來腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時,則要準(zhǔn)備腳踏環(huán)。桌及椅子之腳好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。
芯片盒為放置芯片之用,材質(zhì)以選取擇不易摩損、不發(fā)塵易清潔之材質(zhì)如鐵弗(Teflon)等,至于搬運(yùn)車則以構(gòu)造簡單為原則,并忌使用折迭式,材質(zhì)仍采用不銹鋼為宜,車輪為耐磨性高之橡膠輪胎,車輪軸承采用雙密封式滾珠軸承。推送搬運(yùn)車時不得急速運(yùn)推而以緩行為適。筆記本之紙質(zhì)應(yīng)采用無塵紙制成者,且不得使用影印數(shù)據(jù),若非萬不得已須使用,則須將文件放在透明之塑料套內(nèi)或加覆背,同時不可于室內(nèi)撕破或?qū)⒓埲喑梢粓F(tuán),避免造成環(huán)境之污染。如表5所示為不同紙張材質(zhì)發(fā)塵量之比較。普通黑板及粉筆當(dāng)然不能在高無塵車間安裝內(nèi)使用,必要時可在更衣室等無塵車間安裝較低等級的區(qū)域使用白板。無塵車間安裝內(nèi)不得放置清潔用具,垃圾桶宜使用塑料制品或不銹鋼,且置于維修區(qū)中的固定位置,桶須覆以蓋子,以利管制,并定期清理。
真空吸塵器,其功能是在吸取無塵車間安裝內(nèi)地板上、下及設(shè)備上附著之塵?;蛞后w以防止這些塵粒之再飛揚(yáng),以達(dá)到清潔的目的,由于真空吸塵器在作業(yè)時會有排氣產(chǎn)生,若未經(jīng)處理,將嚴(yán)重影響無塵車間安裝之潔凈度和氣流,因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過濾器,以除去塵埃。唯現(xiàn)今之無塵車間安裝均設(shè)有式吸塵系統(tǒng),并于現(xiàn)場預(yù)留吸塵口,故一般之清潔過程均利用此系統(tǒng),以減少使用真空吸塵器時的氣流干擾,在使用式系統(tǒng)時,須注意排氣旦之控制避免使無塵車間安裝內(nèi)之壓力降低至規(guī)定范圍以下。至于真空吸塵器因?qū)贌o塵車間安裝內(nèi),故不可移至室外使用,若不用時應(yīng)置于較低等級的無塵車間安裝中,旦每次使用后應(yīng)清掃吸管、收塵箱等吸氣系統(tǒng)。凈化車間報價
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