一、空氣潔凈度的意義

隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展，對實(shí)驗(yàn)、研究和生產(chǎn)的環(huán)境要求越來越高，因而調(diào)節(jié)坐氣品質(zhì)的技術(shù)一一空氣調(diào)節(jié)技術(shù)的內(nèi)容也隨之逐步擴(kuò)大?，F(xiàn)代空調(diào)技術(shù)不僅包含調(diào)節(jié)空氣的溫度、濕度和速度的概念，而且還包含了調(diào)節(jié)其潔凈度、壓力以至成分、氣味的概念。

現(xiàn)代化的科學(xué)實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)活動(dòng)對空氣潔凈度的要求主要是從下述四方面提出來的。

1.加工的精密化。現(xiàn)代化產(chǎn)品的加工精度已經(jīng)進(jìn)入到亞微米量級(jí)，而且正在向更小的量級(jí)發(fā)展。以半導(dǎo)體工業(yè)來說，早已采用了分子束外延技術(shù)，可按一個(gè)原子層來生長單晶材料;利用離子束刻蝕技術(shù)也可以對半導(dǎo)體材料進(jìn)行一個(gè)原子的刻蝕剝離等。

2.產(chǎn)品的微型化。半導(dǎo)體元件越來越小，集成度越來越高。超大規(guī)模集成電路可在30mm30mm的芯片上集成上億個(gè)以上的元件。原來體積為幾千立方厘米的電子裝配件，已縮小到零點(diǎn)幾立方厘米。光致抗蝕劑層厚度也只有0.2gm，膜的深度只有0.1m，而鉻層甚至只有0.03m。目前，半導(dǎo)體集成電路的圖形線距已小到0.1m以下。

3.產(chǎn)品的高純度(或高質(zhì)量)?，F(xiàn)代許多產(chǎn)品，其純度已由過去認(rèn)為很純的“化學(xué)純”時(shí)代進(jìn)入了今天的“電子純”或“超純”時(shí)代。例如，超大規(guī)模集成電路所用的硅單晶材料可達(dá)到13個(gè)“9”的超高純度，集成電路生產(chǎn)環(huán)境中的化學(xué)污染物含量要求小于10-2(容積的百分比達(dá)到10-12)。又如不能滅菌不能過濾的藥液還必須無菌。對這些材料之所以有這樣高的要求，是因?yàn)橹挥性跐崈舡h(huán)境下生產(chǎn)和使用，才可能充分發(fā)揮這些材料的固有特性、作用或使其呈現(xiàn)出新的特性來。

4.產(chǎn)品的高可靠性。對于自動(dòng)化、信息化時(shí)代的產(chǎn)品，其高可靠性是現(xiàn)代技術(shù)發(fā)展的迫切需要，是準(zhǔn)確性和高準(zhǔn)確性的需要，是長時(shí)間運(yùn)行和*保證率的需要，今天更突顯高安全性的需要。例如藥品、食品的生產(chǎn)，對無菌動(dòng)物的詞育，對病原體、腫病毒等危險(xiǎn)性生物的實(shí)驗(yàn)加工過程，都要確保產(chǎn)品的高可靠性和人的安全無菌操作以及保護(hù)自然界的生態(tài)環(huán)境，這里，潔凈技術(shù)和工程都起到十分重要的作用。

顯然在上述情況中、如果有微粒(固態(tài)的或者液態(tài)的)進(jìn)入產(chǎn)品，這種微粒就可能構(gòu)成障、短路、雜質(zhì)源和在缺陷。上述四種要求越高，則允許存在于環(huán)境空氣中的微粒數(shù)量越少，也就是潔凈程度越高。因此，潔凈室技術(shù)已成為科學(xué)實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)活動(dòng)現(xiàn)代化的標(biāo)志之一。

二、無塵室的概念

空氣潔凈度是指潔凈環(huán)境中空氣含塵(微粒)量多少的程度。含塵濃度高則潔凈度低，含塵濃度低則潔凈度高。

空氣潔凈度本身是無量綱的。但是，空氣潔凈度的高低可用空氣潔凈度級(jí)別來區(qū)分?？諝鉂崈舳燃?jí)別則以每立方米空氣中的大允許微粒數(shù)來確定。過去，空氣潔凈度級(jí)別一直用操作時(shí)間內(nèi)空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來表示，即所謂動(dòng)態(tài)級(jí)別，自從美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209C開始，級(jí)別本身才和狀態(tài)脫鉤。信陽無塵室凈化裝修

三、無塵室空氣凈化

（1）、無塵車間內(nèi)有多種工序時(shí)，應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級(jí)。   

（2）、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下，潔凈廠房的氣流組級(jí)別，宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。   

（3）、層流潔凈廠房和亂流潔凈廠房以及運(yùn)行班次和使用時(shí)間不同的潔凈廠房，其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。   

（4）、無塵車間內(nèi)應(yīng)保證一定的新鮮空氣量，其數(shù)值頻取下列風(fēng)量中的大值；亂流潔凈廠房總送風(fēng)量的10%～30%，層流潔凈廠房總送風(fēng)量的2～4%；補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40立方米。   

（5）、潔凈區(qū)的清掃，宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈廠房內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應(yīng)暗敷。

（6）、在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，對施工和維護(hù)管理要求。

四、凈化空調(diào)與一般空調(diào)的區(qū)別

1.空氣過濾方面

一般空調(diào)采用一級(jí)，多二過濾，過濾器不設(shè)在末端，沒有亞高效以上過過濾器；而凈化空調(diào)系統(tǒng)必須設(shè)三級(jí)至四級(jí)過濾器，末端設(shè)過濾器，必須有亞高效以上過濾器，因此，室內(nèi)含塵濃度少也要差幾十倍。

2.氣流組織方面

一般空調(diào)為了以較少的通風(fēng)量達(dá)到盡可能提高室內(nèi)溫濕度場均勻度的目的，用亂流度大的氣流組織形式，盡量在室內(nèi)造成二次誘導(dǎo)氣流和某些向上的氣流。而凈室正好相反，要盡量限制和減少塵粒的擴(kuò)散，盡可能使由于各種原因產(chǎn)生的塵粒迅速流向回風(fēng)口，因此要求減少二次氣流和渦流。至于單向流氣流形式更是一般空調(diào)所沒有的。

3.室內(nèi)壓力控制方面

一般空調(diào)對室內(nèi)壓力沒有明顯要求，而潔凈室則不是要求室內(nèi)正壓就是要求室內(nèi)負(fù)壓，小壓差在5Pa以上，這就要求供給一定的正壓風(fēng)量或給予一定的排風(fēng)，因此必須采取一定的施，這是一般空調(diào)所不必要的。

4.風(fēng)量能耗方面

一般空調(diào)系統(tǒng)只有10次以下的換氣次數(shù)，而凈化空調(diào)系統(tǒng)的換氣次數(shù)少也要15次，多幾百次，是一般空調(diào)的幾倍至幾十倍。信陽無塵室凈化裝修