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        1. 深圳市中圖儀器股份有限公司

          PRODUCT DISPLAY

          當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測量儀>>臺階儀>> NS200薄膜厚度臺階測量儀

          薄膜厚度臺階測量儀

          參  考  價: 600000

          訂  貨  量: ≥1 臺

          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號:NS200

          品       牌:CHOTEST/中圖儀器

          廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

          所  在  地:深圳市

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          更新時間:2024-07-17 18:03:02瀏覽次數(shù):419次

          聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
          產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
          應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,綜合
          中圖儀器NS系列薄膜厚度臺階測量儀集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。它主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

          中圖儀器NS系列薄膜厚度臺階測量儀集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù),具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。它主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。應(yīng)用場景適應(yīng)性強,對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位。

          薄膜厚度臺階測量儀

          臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,它對表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征,對于相關(guān)材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。


          典型應(yīng)用

          薄膜厚度臺階測量儀


          產(chǎn)品功能

          1.參數(shù)測量功能

          1)臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;

          2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數(shù);

          3)翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

          2.數(shù)采與分析系統(tǒng)

          1)自定義測量模式:支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對位移量的方式來設(shè)定掃描路徑的測量模式;

          2)導(dǎo)航圖智能測量模式:支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖、標(biāo)定數(shù)據(jù)、即時圖像以智能化生成移動命令方式來實現(xiàn)掃描的測量模式。

          3)SPC統(tǒng)計分析:支持對不同種類被測件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,針對批量樣品的測量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計數(shù)據(jù)的變化趨勢。

          3.光學(xué)導(dǎo)航功能

          配備了500W像素的彩色相機,可實時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,進(jìn)行即時的高精度定位測量。

          4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能

          配備了精密XY位移臺、360°電動旋轉(zhuǎn)平臺和電動升降Z軸,可對樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié),提高測量精度及效率。


          性能特點

          1.亞埃級位移傳感器

          具有亞埃級分辨率,結(jié)合單拱龍門式設(shè)計降低環(huán)境噪聲干擾,確保儀器具有良好的測量精度及重復(fù)性;

          2.超微力恒力傳感器

          1-50mg可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,采用超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量;

          3.超平掃描平臺

          系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運動中的細(xì)微抖動,真實地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌。

          薄膜厚度臺階測量儀


          NS系列薄膜厚度臺階測量儀采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景,CP200臺階儀提供如下便捷功能:

          1)結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標(biāo)志位;

          2)對于批量樣件,提供自定義多區(qū)域測量功能,實現(xiàn)一鍵多點位測量;

          3)提供SPC統(tǒng)計分析功能,直觀分析測量數(shù)值變化趨勢;


          部分技術(shù)參數(shù)

          型號NS200
          測量技術(shù)探針式表面輪廓測量技術(shù)
          探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
          平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
          樣品R-θ載物臺電動,360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
          單次掃描長度55mm
          樣品厚度
          50mm
          載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
          尺寸(L×W×H)mm640*626*534
          重量40kg
          儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

          使用環(huán)境

          相對濕度:濕度 (無凝結(jié))30-40% RH

          溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

          地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)

          音頻噪音:≤80dB

          空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)

          懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

          如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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