當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量?jī)x>>臺(tái)階儀>> NS200臺(tái)階儀接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x
臺(tái)階儀是一種接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器,可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。中圖儀器NS系列臺(tái)階儀接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x廣泛應(yīng)用于:大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽(yáng)能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品功能
1.參數(shù)測(cè)量功能
1)臺(tái)階高度:能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度,可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料;
2)粗糙度與波紋度:能夠測(cè)量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過(guò)計(jì)算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項(xiàng)參數(shù);
3)翹曲與形狀:能夠測(cè)量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中,因多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配所產(chǎn)生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。
2.數(shù)采與分析系統(tǒng)
1)自定義測(cè)量模式:支持用戶以自定義輸入坐標(biāo)位置或相對(duì)位移量的方式來(lái)設(shè)定掃描路徑的測(cè)量模式;
2)導(dǎo)航圖智能測(cè)量模式:支持用戶結(jié)合導(dǎo)航圖、標(biāo)定數(shù)據(jù)、即時(shí)圖像以智能化生成移動(dòng)命令方式來(lái)實(shí)現(xiàn)掃描的測(cè)量模式。
3)SPC統(tǒng)計(jì)分析:支持對(duì)不同種類被測(cè)件進(jìn)行多種指標(biāo)參數(shù)的分析,針對(duì)批量樣品的測(cè)量數(shù)據(jù)提供SPC圖表以統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的變化趨勢(shì)。
3.光學(xué)導(dǎo)航功能
配備了500W像素的彩色相機(jī),可實(shí)時(shí)將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸?shù)杰浖酗@示,進(jìn)行即時(shí)的高精度定位測(cè)量。
4.樣品空間姿態(tài)調(diào)節(jié)功能
配備了精密XY位移臺(tái)、360°電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和電動(dòng)升降Z軸,可對(duì)樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié),提高測(cè)量精度及效率。
NS系列臺(tái)階儀接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x對(duì)測(cè)量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測(cè)量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測(cè)量中使用非常廣泛的微納樣品測(cè)量手段。
產(chǎn)品特性
1.高重復(fù)性和再現(xiàn)性,滿足被測(cè)件測(cè)量精度要求
線性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級(jí)分辨率,13um量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。
2.超微力恒力傳感器:(1-50)mg可調(diào)
測(cè)力恒定可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制,實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測(cè)量。
3.超平掃描平臺(tái)
系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng),提高掃描精度,真實(shí)反映工件微小形貌。
4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng),5MP超高分辨率彩色相機(jī)
5.全自動(dòng)XY載物臺(tái), Z軸自動(dòng)升降、360°全自動(dòng)θ轉(zhuǎn)臺(tái)
6.強(qiáng)大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)
臺(tái)階儀軟件包含多個(gè)模塊,為對(duì)不同被測(cè)件的高度測(cè)量及分析評(píng)價(jià)提供充分支持。