真空等離子清洗機運行原理

    真空等離子清洗機是利用低壓氣體輝光等離子體。一些非聚合性無機氣體（Ar2、N2、H2、O2等）在高頻低壓下被激發(fā)，產(chǎn)生含有離子，通過等離子體的“活性”組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。在真空腔體里，給一組電極施以射頻電壓（頻率約為幾十兆赫茲），電極之間形成高頻交變電場，區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場的激蕩下，產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，活性等離子對被清洗物進行表面物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過抽真空排出，以達到清洗、活化、接枝等目的。

真空等離子清洗機技術(shù)參數(shù)：

電源頻率: 13.56MHz/40KHz（選配）

真空泵: 油泵/干泵+羅茨組合

腔體材質(zhì): 進口316不銹鋼/鋁合金（選配）

氣體流量: 0-500ccm

氣體管道: 2路（可增加）

控制方式: PLC+觸摸屏

真空等離子清洗機技術(shù)優(yōu)勢：

1）清洗對象經(jīng)等離子處理后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序；可以提高整個工藝流水線的處理效率；

2）采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體的特點是方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內(nèi)部完成常規(guī)清洗不能達到的清洗任務(wù)，能很好處理難清洗部位。

3）等離子技術(shù)，不需要對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場地很容易保持清潔衛(wèi)生，體現(xiàn)設(shè)備高度環(huán)保性

4）安全性能強，等離子清洗技術(shù)避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法，使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題

5）在真空等離子清洗技術(shù)還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。

6）真空等離子清洗技術(shù)不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進行部分清洗；

    金鉑利萊有限公司成立于2014 年，是從事大氣低溫等離子體（電漿）及真空plasma技術(shù)、射頻及微波等離子體技術(shù)研發(fā)、推廣、銷售于一體的高科技企業(yè)。我們?yōu)閺V大客戶提高13.56MHz的等離子清洗設(shè)備，高規(guī)格表面制造，設(shè)備都是采用材質(zhì)優(yōu)質(zhì)的部件，能讓設(shè)備運行過程中耐用性能好，處理效率高，而且我們還能定制各種規(guī)格的真空等離子清洗機。