產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,印刷包裝,紡織皮革 |
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參考價 | 面議 |
更新時間:2020-10-27 14:21:30瀏覽次數(shù):777
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技術(shù)規(guī)格 | VP120 | |
電極 | 有效尺寸 | 400(W)*410(D)mm |
電極分布 | 6層水平分布,極板間距50mm | |
真空腔體 | 尺寸 | 785(W)*485(D)*350(H)mm |
材料 | 航空鋁合金 | |
主機(jī) | 主機(jī)體尺寸 | 1240(W)×1600(H)×1100(D)mm |
安裝面積 | 1500*1500mm | |
重量 | 標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型:500KG | |
RF電源 | 功率頻率 | 美國CERES-600W、13.56MHz或1000W@40Khz |
真空泵 | 變頻器 | 德國西門子變頻器控制真空泵電機(jī) |
機(jī)械油泵 | 日本ULAVC-60m3/h | |
主要配件 | 氣體流量計(jì) | SevenStar 2通道0-300sccm |
真空探測儀 | 日本ULAVC皮拉尼式 | |
破真空閥門 | 日本CKD氣動閥門 | |
電磁閥 | 日本SMC真空電磁閥 | |
控制方式 | 德國西門子PLC & 人機(jī)界面 | |
安裝條件 | 電力 | AC380,50/60Hz,3Phase 5wire,5.2KVA |
壓縮空氣 | 0.4-0.6MPa | |
工藝氣體 | O2 N2 H2 Ar | |
排氣管道接口 | KF40 |
深圳金鉑利萊科技有限公司成立于2014年,引用源自德國25年等離子系統(tǒng)研發(fā)技術(shù),是一家專注從事等離子蝕刻/清潔系統(tǒng)的研發(fā)與生產(chǎn)制造于一體的高科技企業(yè)。等離子清洗機(jī)公司簡介:公司成立以來一直為手機(jī)、電腦、線路板、LED、半導(dǎo)體、光電太陽能、汽車、醫(yī)療等高科技電子領(lǐng)域及大規(guī)模工業(yè)領(lǐng)域客戶提供等離子處理系統(tǒng)。