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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
Euclid Techlabs LLC 提供獨(dú)立開(kāi)發(fā)的超快脈沖發(fā)生器系統(tǒng),將傳統(tǒng)的 SEM 轉(zhuǎn)換為時(shí)間分辨 SEM。 該脈沖發(fā)生器可適用于 TFS Verios 5 XHR SEM,從而將頻閃時(shí)間分辨率引入現(xiàn)有 SEM 系統(tǒng),而不會(huì)降低其原有性能。為了保持原始光束質(zhì)量,并在脈沖發(fā)生器關(guān)閉時(shí)對(duì)正常操作的影響最?。ɡ硐肭闆r下沒(méi)有),我們可能建議將脈沖發(fā)生器插入 FE 槍和聚光透鏡之間。 脈沖發(fā)生器與原始 SEM 腔具有相同的真空接口。 控制單元通過(guò)鎖相延遲線向脈沖發(fā)生器(電和光)提供控制信號(hào),并為樣品提供同步的電或光信號(hào)。
特點(diǎn):
• 百皮秒級(jí)射頻電激發(fā)電子束
規(guī)格:
• 能量范圍:2~30 keV
• 電子束頻閃率:15MHz~3GHz(電激發(fā))
• 電子脈沖長(zhǎng)度:100ps~period-100ps(電激發(fā))。
• 輻射安全
• 與 SEM 腔真空兼容
• 在電激發(fā)下保持 SEM 的原始固有空間分辨率。