表面和體積電阻率測(cè)試儀（高阻）參照標(biāo)準(zhǔn)：

(1)參照標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 22042-2008《服裝 防靜電性能 表面電阻率試驗(yàn)方法》；EN 1149-1-1995 《 靜電性能 第1部分表面電阻檢驗(yàn)方法和要求》；GB/T 1410-2006《固體絕緣材料體積電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法》（與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IEC93-1980等效）；FZ/T 64013-2008 《靜電植絨毛絨》；

SJ/10694-2006《電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測(cè)通用規(guī)范》6.1及ASTM D257《絕緣材料的直流電阻或電導(dǎo)試驗(yàn)方法》要求制作。GB/T 2439-2001《硫化橡膠或熱塑性橡膠 導(dǎo)電性能和耗散性能電阻率的測(cè)定》；GB/T 10581-2006 《絕緣材料在高溫下電阻和電阻率的試驗(yàn)方法》 ；GB/T 1692-2008 《硫化橡膠絕緣電阻率的測(cè)定》；GB/T 12703.4-2010 《紡織品 靜電性能的評(píng)定 第４部分：電阻率》 GB/T 10064-2006《測(cè)定固體絕緣材料絕緣電阻的試驗(yàn)方法》。

表面和體積電阻率測(cè)試儀（高阻）適用范圍：

適用于測(cè)量粉末、粉體、顆粒物、氣體、電子元器件、介質(zhì)材料、電線電纜、防靜電產(chǎn)品、如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計(jì)算機(jī)房防靜電活動(dòng)地板等電阻值等絕緣性能的檢驗(yàn)和電子電器產(chǎn)品的絕緣電阻測(cè)量。

功能介紹：

配不同的測(cè)量電極(夾具)可以測(cè)量不同材料 (固體、粉體或液體)的體積電阻率和表面電阻率. 具有高電阻，微電流測(cè)量，中文或英文兩種語言本.

主要特點(diǎn)

BEST-310炭素電阻率測(cè)試儀

1. 描述：

四端測(cè)試法測(cè)量碳素材料，石墨等塊狀棒狀及粉末材料常溫下導(dǎo)電性能。恒流，自動(dòng)電流檔， 4.3吋液晶顯示，顯示：電流、電壓、溫度、電阻率，電導(dǎo)率，電阻等數(shù)據(jù)，選配：PC軟件獲得測(cè)試數(shù)據(jù)之圖譜和報(bào)表。根據(jù)產(chǎn)品形狀不同選購(gòu)測(cè)試治具.

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二.適用范圍：

適用于碳素廠、焦化廠、石化廠、粉末冶金廠、高等院校、科研部門對(duì)材料之研究.

三.參照標(biāo)準(zhǔn)：

鋁用炭素材料檢測(cè)方法 第2部分 陰極炭塊和預(yù)焙陽極室溫電阻率的測(cè)定 GB/T6717、GB/T 24525-2009、YS/T63.2炭素材料電阻率測(cè)定方法.；ISO 11713-2000、YS/T63.2-2005和YS/T 64-1993標(biāo)準(zhǔn)方法測(cè)試陰極炭塊、預(yù)焙陽極、陽極糊陰極糊和炭素制品常溫下的電阻率。

炭素材料制品的電阻率值是評(píng)價(jià)炭制品電極質(zhì)量，也是在炭制品加工中控制監(jiān)督工藝過程的重要參數(shù)。

測(cè)量電阻靈敏度達(dá)0.01μΩ. ，測(cè)試電流能達(dá)到10A

高頻介電常數(shù)測(cè)試儀

介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)在民用，工業(yè)以及等各個(gè)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。本文主要對(duì)介電常數(shù)測(cè)量的常用方法進(jìn)

行了綜合論述。首先對(duì)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了對(duì)比總結(jié)；然后分別論述了幾種常用測(cè)量方法的基本原理、適用范圍、

優(yōu)缺點(diǎn)及發(fā)展近況；后對(duì)幾種測(cè)量方法進(jìn)行了對(duì)比總結(jié)，得出結(jié)論。

介電常數(shù)是物體的重要物理性質(zhì)，對(duì)介電常數(shù)的研究有重要的理論和應(yīng)用意義。電氣工程中的電介質(zhì)問題、電磁兼容問題、生物、微波、電子技術(shù)食品加工和地質(zhì)勘探中，無一不利用到物質(zhì)的電磁特性，對(duì)介電常數(shù)的測(cè)量提出了要求。目前對(duì)介電常數(shù)測(cè)量方法的應(yīng)用可以說是遍及民用、工業(yè)、國(guó)防的各個(gè)領(lǐng)域

在食品加工行業(yè)當(dāng)中，儲(chǔ)藏、加工、滅菌、分級(jí)及質(zhì)檢等方面都廣泛采用了介電常數(shù)的測(cè)量技術(shù)。例如，通過測(cè)量介電常數(shù)的大小，新鮮果蔬品質(zhì)、含水率、發(fā)酵和干燥過程中的一些指標(biāo)都得到間接體現(xiàn)，此外，根據(jù)食品的介電常數(shù)、含水率確定殺菌時(shí)間和功率密度等工藝參數(shù)也是重要的應(yīng)用之一[1]。在路基壓實(shí)質(zhì)量檢測(cè)和評(píng)價(jià)中，如果利用常規(guī)的方法，盡管測(cè)量結(jié)果比較準(zhǔn)確，但工作量大、周期長(zhǎng)、速度慢且對(duì)路面造成破壞。由于土體的含水量、溫度及密度都會(huì)對(duì)其介電特性產(chǎn)生不同程度的影響，因此可以采用雷達(dá)對(duì)整個(gè)區(qū)域進(jìn)行測(cè)試以反算出介電常數(shù)的數(shù)值，通過分析介電性得到路基的密度及壓實(shí)度等參數(shù)，達(dá)到快速測(cè)量路基的密度及壓實(shí)度的目的[2]。此外，復(fù)介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)還在水土污染的監(jiān)測(cè)中得到了應(yīng)用[3]。并且還可通過對(duì)巖石介電常數(shù)的測(cè)量對(duì)地震進(jìn)行預(yù)報(bào)[4]。上面說的是介電常數(shù)測(cè)量在民用方面的部分應(yīng)用，其在工業(yè)上也有重要的應(yīng)用。典型的例子有低介電常數(shù)材料在超大規(guī)模集成電路工藝中的應(yīng)用以及高介電常數(shù)材料在半導(dǎo)體儲(chǔ)存器件中的應(yīng)用。在集成電路工藝中，隨著晶體管密度的不斷增加和線寬的不斷減小，互聯(lián)中電容和電阻的寄生效應(yīng)不斷增大，傳統(tǒng)的絕緣材料二氧化硅被低介電常數(shù)材料所代替是必然的。目前Applied Materials 的BlackDiamond 作為低介電常數(shù)材料，已經(jīng)應(yīng)用于集成電路的商業(yè)化生產(chǎn)[5]。在半導(dǎo)體儲(chǔ)存器件中，利用高介電常數(shù)材料能夠解決半導(dǎo)體器件尺寸縮小而導(dǎo)致的柵氧層厚度極限的問題，同時(shí)具備特殊的物理特性，可以實(shí)現(xiàn)具有特殊性能的新器件[6]。在方面，介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)也廣泛應(yīng)用于雷達(dá)和各種特

殊材料的制造與檢測(cè)當(dāng)中。對(duì)介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)的應(yīng)用可以說是不勝枚舉。介電常數(shù)的測(cè)量技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于民用、工業(yè)和國(guó)防各個(gè)領(lǐng)域，并且有發(fā)展的空間和必要性。我們對(duì)測(cè)量介電常數(shù)的方法進(jìn)行總結(jié)，能更清晰的認(rèn)識(shí)測(cè)量方法的現(xiàn)狀，為某些應(yīng)用提供一種可能適合的方法，是有一定理論和工程應(yīng)用意義的。

.介電常數(shù)測(cè)量方法綜述介電常數(shù)的測(cè)量按材質(zhì)分類可以分為對(duì)固體、液體、氣體以及粉末(顆粒)的測(cè)量[7]。固體電介質(zhì)在測(cè)量時(shí)應(yīng)用為廣泛，通?？梢苑譃閷?duì)固定形狀大小的固體和對(duì)形狀不確定的固體的測(cè)量。相對(duì)于固體，液體和氣體的測(cè)試方法較少。對(duì)于液體，可以采用波導(dǎo)反射法測(cè)量其介電常數(shù)，誤差在5%左右[8]。此外標(biāo)準(zhǔn)中給出了在90℃、工頻條件下測(cè)量液體損耗角正切及介電常數(shù)的方法[9]。對(duì)于氣體，具體測(cè)試方法少且精度都不十分高。文獻(xiàn)[10]中給出一種測(cè)量方法，以測(cè)量共振頻率為基礎(chǔ)，在LC 串聯(lián)諧振電路中產(chǎn)生震蕩，利用數(shù)字頻率計(jì)測(cè)量諧振頻率，不斷改變壓強(qiáng)和記錄當(dāng)前壓強(qiáng)下諧振頻率，后用作圖或者一元線性回歸法處理數(shù)據(jù)，得到電容變化率進(jìn)而計(jì)算出相對(duì)介電常數(shù)。

表1 是測(cè)量固體介電常數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)方法(不包括廢止的方法)及其對(duì)頻率、介電常數(shù)范圍、材料等

情況的要求。如表1 所示，標(biāo)準(zhǔn)中已經(jīng)對(duì)微擾法和開式腔法的過程做了詳細(xì)介紹，然而對(duì)適用頻率和介電常數(shù)的范圍都有所限制。所以在不同材料，不同頻率的情況下，標(biāo)準(zhǔn)也給出了相應(yīng)的具體測(cè)量方法?？梢?，上面所分析的方法并不是可以隨便套用的。在不同的系統(tǒng)、測(cè)量不同的材料、所要求的頻率不同的情況下，需要對(duì)其具體問題具體分析，這樣才能得出準(zhǔn)確的方法。標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法覆蓋的頻率為50 MHz 以下和100 MHz 到30 GHz，可以說是一個(gè)較廣的頻率覆蓋范圍，但是不同范圍適用的材料和環(huán)境等都有所不同。介電常數(shù)的覆蓋范圍是2 到100，接近1 的介電常數(shù)和較高介電常數(shù)的測(cè)量方法比較稀缺，損耗普遍在10?3 到10?4 的數(shù)量級(jí)上。3. 測(cè)量介電常數(shù)的幾種主要方法從總體來說，目前測(cè)量介電常數(shù)的方法主要有集中電路法、傳輸線法、諧振法、自由空間波法等等。其中，傳輸線法、集中電路法、諧振法等屬于實(shí)驗(yàn)室測(cè)量方法，測(cè)量通常是在實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行，要求具有相應(yīng)的樣品采集技術(shù)。另外對(duì)于已知介電常數(shù)材料發(fā)泡后的介電常數(shù)通常用經(jīng)驗(yàn)公式得到[26]。下面，分別對(duì)這幾種方法的原理、特點(diǎn)和發(fā)展現(xiàn)狀等做分別闡述。3.1. 集中電路法集中電路法是一種在低頻段將有耗材料填充電容，利用電容各參數(shù)以及測(cè)量得到的導(dǎo)納推出介電常數(shù)的一種方法。其原理公式為：

其中， Y 為導(dǎo)納， A 為電容面積， d 為極板間距離，e0 為空氣介電常數(shù)，ω 為角頻率。為了測(cè)量導(dǎo)納，通常用并聯(lián)諧振回路測(cè)出Q 值(品質(zhì)因數(shù))和頻率，進(jìn)而推出介電常數(shù)。由于其高頻率會(huì)受到小電感的限制，這種方法的高頻率一般是100 MHz。小電感一般為10 nHz 左右。如果電感過，高頻段雜散電容影響太大。如果頻率過高，則會(huì)形成駐波，改變諧振頻率同時(shí)輻射損耗驟然增加。但這種方法并不適用于低損材料。因?yàn)檫@種方法能測(cè)得的Q 值只有200 左右，使用網(wǎng)絡(luò)分析儀測(cè)得tand 也只在10?4 左右。這種方法不但準(zhǔn)確度不高，而且只能測(cè)量較低頻率，在現(xiàn)有通信應(yīng)用要求下已不應(yīng)用。

[GB/T 1693-2007]硫化橡膠介電常數(shù)和介質(zhì)損耗角工頻、高頻適用于硫化橡膠

正切值的測(cè)定方法

[GB/T 5597-1999]固體電介質(zhì)微波復(fù)介電常數(shù)的測(cè)

2~18 試方法 GHz 2~20 0.0001~0.005

[GB 7265.1-87]固體電介質(zhì)微波復(fù)介電常數(shù)的測(cè)試方2~18 GHz 2~20 0.0001~0.005 微擾法

法——微擾法

[GB 7265.2-87]固體電介質(zhì)微波復(fù)介電常數(shù)的測(cè)試方法——“開式腔"法 3~30 GHz 5~100 0.0002~0.006 開式腔法

[GB 11297.11-89]熱釋電材料介電常數(shù)的測(cè)試方法1 kHz ± 5% 適用于熱釋電材料

[GB 11310-89]壓電陶瓷材料性能測(cè)試方法相對(duì)自由介電常數(shù)溫度特性的測(cè)試 1 kHz 適用于壓電陶瓷材料

[GB/T 12636-90]微波介質(zhì)基片復(fù)介電常數(shù)帶狀線測(cè)1~20 GHz 2~25 0.0005~0.01 試方法

[QJ 1990.3-90]電絕緣粘合劑電性能測(cè)試方法工頻、工頻、高頻適用于電絕緣粘合劑

高頻下介質(zhì)損耗角正切及相對(duì)介電常數(shù)的測(cè)量(1 MHz 以下)

[SJ 20512-1995]微波大損耗固體材料復(fù)介電常數(shù)和

2~40 GHz 2~100<1.2 適用于微波大損耗固體材料

復(fù)磁導(dǎo)率測(cè)試方法

[SJ/T 1147-93]電容器用有機(jī)薄膜介質(zhì)損耗角正切值工頻、1 kHz、1 適用于電容器用有機(jī)薄膜

和介電常數(shù)試驗(yàn)方法MHz

[SJ/T 10142-91]電介質(zhì)材料微波復(fù)介電常數(shù)測(cè)試方4~12 GHz 4~80 0.1~1 適用于電介質(zhì)材料、同軸線終端開路