雅馬拓等離子清洗機(jī)V1000產(chǎn)品特點(diǎn)：

■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-1000W高功率機(jī)型，DP和RIE標(biāo)配的雙模等離子清洗儀器，可對(duì)應(yīng)更多復(fù)雜工藝.
●標(biāo)準(zhǔn)配備電離式真空計(jì)，實(shí)時(shí)顯示真空度，使得控制更為accurate。
●液晶觸摸屏控制，操作使用簡(jiǎn)單，調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單。
■安全性·保護(hù)
●標(biāo)準(zhǔn)配備真空泄漏檢測(cè)功能，可以根據(jù)需要檢查設(shè)備的真空以及泄漏情況。
●裝載有過(guò)電流漏電保護(hù)、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標(biāo)準(zhǔn)配備過(guò)電流漏電保護(hù)裝置。
●發(fā)生器保護(hù)回路：超負(fù)荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問(wèn)題時(shí)，可自動(dòng)調(diào)低頻率來(lái)保護(hù)發(fā)生器。
●門(mén)鎖開(kāi)關(guān)：門(mén)在未*關(guān)閉時(shí)無(wú)法啟動(dòng)電源。
●側(cè)板鎖：本體側(cè)板突然打開(kāi)或者未關(guān)好時(shí)，會(huì)停止電源。
●緊急停止按鍵（EMO）標(biāo)準(zhǔn)配備。
●當(dāng)裝置發(fā)生異常時(shí)，裝置本體發(fā)出警告信號(hào)的同時(shí)，進(jìn)行以下動(dòng)作1）關(guān)閉主閥。（2）關(guān)閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時(shí)間。（5）聲光報(bào)警
■產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
●清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。
●DP&RIE雙模處理，可對(duì)應(yīng)更復(fù)雜的工藝。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可變電極構(gòu)造提高等離子處理效果。
●安全保護(hù)措施綿密，有效防止對(duì)機(jī)器以及樣品的損害。
●可根據(jù)需求的具體情況提供產(chǎn)品定制服務(wù)。
●硅晶圓的灰化及蝕刻。
●基板表面污垢處理。
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。
●半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗。
●自然氧化膜·有機(jī)物去除。
●界面活性處理。
●表面污染物去除

雅馬拓等離子清洗機(jī)V1000產(chǎn)品參數(shù)：