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Thermionics 差動(dòng)泵旋轉(zhuǎn)密封 真空組件
差動(dòng)泵旋轉(zhuǎn)密封 (RNN) 通過(guò) UHV 系統(tǒng)的真空壁提供 360° 連續(xù)旋轉(zhuǎn)自由度。RNN 具有兩級(jí)差動(dòng)泵送,由特殊密封表面上的石墨浸漬、膨脹、特氟龍®密封件隔離。預(yù)緊的滾珠軸承組可精確控制旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的位置。
Thermionics 差動(dòng)泵旋轉(zhuǎn)密封 真空組件
RNN™ 系列差動(dòng)泵送旋轉(zhuǎn)密封
差動(dòng)泵旋轉(zhuǎn)密封 (RNN) 通過(guò) UHV 系統(tǒng)的真空壁提供 360° 連續(xù)旋轉(zhuǎn)自由度。RNN 具有兩級(jí)差動(dòng)泵送,由特殊密封表面上的石墨浸漬、膨脹、特氟龍®密封件隔離。預(yù)緊的滾珠軸承組可精確控制旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的位置。RNN 提供蝸桿驅(qū)動(dòng)微調(diào)選項(xiàng)。這允許更輕松、更準(zhǔn)確地調(diào)整角度。RNN 還提供帶消隙步進(jìn)或同步電機(jī)驅(qū)動(dòng)的產(chǎn)品。
Thermionics 差動(dòng)泵旋轉(zhuǎn)密封 真空組件
規(guī)格
標(biāo)準(zhǔn)凈內(nèi)徑為 1.53 英寸至 12 英寸的型號(hào),可根據(jù)要求提供更大尺寸可烘烤至 150°C固定法蘭和旋轉(zhuǎn)法蘭,螺紋厚度約為兩個(gè) ConFlat 型法蘭的厚度2 級(jí)差壓泵送極限壓力 10-11Torr 系列0–360° 刻度,帶游標(biāo)RNN-400 和更大型號(hào)的典型性能規(guī)格分辨率 lt;0.004°重復(fù)精度 lt;0.008°背隙 lt;0.035°
可讀性規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)刻度:1.0°機(jī)械計(jì)數(shù)器:0.1°需要微步電機(jī)驅(qū)動(dòng)才能獲得最大分辨率選項(xiàng)微調(diào)蝸桿傳動(dòng)微調(diào)數(shù)字讀數(shù),0.1° 讀數(shù),機(jī)械,不可復(fù)位提供機(jī)械計(jì)數(shù)器選項(xiàng)帶手動(dòng)旋鈕的消隙步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)每整步 0.018°(RNN-150/MS 為 0.0225°/全步)可在 /FA 裝置上提供定制的泵出管長(zhǎng)度和曲軸長(zhǎng)度負(fù)載下面列出了標(biāo)準(zhǔn)的最大負(fù)載。在特定應(yīng)用下可以處理較大的負(fù)載。請(qǐng)咨詢工廠以獲取定制應(yīng)用程序。有效載荷的重心位于裝置極軸的“X"范圍內(nèi),其中 X 等于 RNN 內(nèi)徑的 10%。有效載荷的重心位于水平安裝裝置上旋轉(zhuǎn)法蘭的“Y"距離內(nèi),其中 Y 是法蘭內(nèi)徑。真空外部有效載荷的總體最大尺寸“A"為:垂直操作:7 x 法蘭外徑 水平操作:5 x 法蘭外徑 倒置操作:7 x 法蘭外徑