Thermionics 3KW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍真空組件
聯(lián)系張經(jīng)理:I8721868549(微信同號)
Thermionics 3KW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍真空組件
RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉(zhuǎn)噴槍™
| 根據(jù)需要選擇 4 6 8 |
---|
| 根據(jù)需要選擇 2.24cc 4毫升 |
---|
| 根據(jù)需要選擇 右舵駕駛 左舵駕駛 后驅(qū) 底部驅(qū)動 |
---|
RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉(zhuǎn)噴槍™
新的 Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍™提供增強的光束穩(wěn)定性和高效的 XY 掃描,坩堝覆蓋,自動分度器(單獨出售)提供自動定位功能。
特征
真正的 XY 清掃,坩堝覆蓋
源附帶的掃頻線圈
增強的光束準直
插件發(fā)射器模塊
增強的高穩(wěn)定性冷卻
交叉污染屏蔽
堅固的設(shè)計
可選的自動索引器
多坩堝 e-Gun 的工作原理與單坩堝源相同,具有以下優(yōu)點:
蒸發(fā)劑供應(yīng)量大 — 當每個坩堝都填充相同的源材料時,可以在單個真空循環(huán)中蒸發(fā)增加的蒸發(fā)劑體積。
在一個真空循環(huán)中沉積多達八種不同的材料 — 可以在一個真空循環(huán)中將不同的材料放入每個坩堝中,并按任何順序沉積。沉積速率與單個坩堝模型的沉積速率相同。一次只加熱一個坩堝。單絲保持靜止,坩堝頭由驅(qū)動手柄分度到位。因此,蒸發(fā)總是來自真空室中的相同的位置。非活性坩堝通過磁極片與加熱的坩堝隔開,從而消除了坩堝之間的污染。
兼容高真空
金屬和彈性體密封件,測量的基壓:2 x 10-9托。
可互換坩堝
主坩堝輪可以從源的頂部拆下,而無需拆卸源。這種靈活性允許現(xiàn)場升級。
所有多坩堝電子噴槍都可以安裝在更大直徑的 ConFlat 或矩形 PyraFlat 法蘭上,單個或背對背。
規(guī)格
工作壓力 | 低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想選擇 |
光束電壓 | 4,000 伏 |
束流 | 0–750 mA 連續(xù)可變 |
最大功率 | 3,000 瓦 |
冷卻水 | 1.5 加侖/分鐘 |
最大烘烤溫度 | 120°C (150°F) |
坩堝體積 | 2.24 cc x 4、6 或 8 個坩堝 |
安裝配置
每個 e-Gun™ 都提供三種標準安裝配置:
請在下訂單時安裝配置;成本可能不包括螺栓型或法蘭型安裝。
通常提供其他安裝法蘭、配置和幾何形狀,請致電工廠了解更多信息。
型號 | 坩堝 |
---|
RCR0304-SD | 4 |
RCR0304-BD | 4 |
RCR0306-SD | 6 |
RCR0306-BD | 6 |
RCR0308-SD | 8 |
RCR0308-BD | 8 |
注意:SD 表示側(cè)驅(qū),BD 表示底驅(qū)
Thermionics 3KW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍真空組件