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          江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
                                                                        
          
										  中級會員 | 第3年									
          
                                    								
          

							
          
						
          
                        

					
          
										
          
						
          
                            							
          
								
          
								
          
									
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          當(dāng)前位置：江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司>>顯影機>>全封閉式桌面顯影機>> DM200-SE全封閉顯影機
          
					
          
				
          
			
          
		
          
		
          
			
          
				
          
					
          全封閉顯影機 
          
					
          

																														
						  

						  
					
          
                                
					                        
						
          
                        
          
                            						        
          
							    
							    								    
          參  考  價面議  
          
							    								
          具體成交價以合同協(xié)議為準
          
						    
          
                            						    
							    
          
								    
          
									    
          產(chǎn)品型號DM200-SE
          
									    
          品       牌LEBO/雷博
          
		                                
          廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
          
		                                									    
          所  在  地無錫市
          
								    
          
								    
                                    
          
                                                                             
          
								    
          
									    
          
										    更新時間：2024-11-06 18:58:16瀏覽次數(shù)：2523次
									    
          
									    聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)
								    
          
						    
          
						    
                        
          
											
          
                        
					                    
            			 
				
          
			
          
		
          
		
          
			
          
				
          
					
          
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				                        				                        產(chǎn)地類別
				                        國產(chǎn)
				                        				                    				                    				                        應(yīng)用領(lǐng)域
				                        化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣,綜合
				                        				                    
          
				                    				                    				                
          
				            
          
				            
          
				            全封閉顯影機主要用于半導(dǎo)體制造中晶片的顯影工藝，性價比高，穩(wěn)定性好，重復(fù)性好，對顯影作業(yè)有非常理想的效果。設(shè)備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能，并且噴嘴位置可程控移動，實現(xiàn)自動顯影和清洗作業(yè)。
          
				        
				        
          
				            
          　　全封閉顯影機優(yōu)勢
           
          　　·全封閉式顯影，避免霧氣擴散到外部，污染環(huán)境。
           
          　　·外殼噴塑，耐腐蝕，易清洗。
           
          　　·內(nèi)腔鍍特氟龍，光滑，耐腐蝕，易清洗。
           
          　　·內(nèi)置真空過濾器，防止液體吸入真空泵。
           
          　　·真空壓力可調(diào)，壓力值實時顯示。
           
          　　·液體流量可調(diào)，回吸可調(diào)。
           
          全封閉顯影機
          全封閉顯影機參數(shù)
           
          　　支持wafer尺寸：碎片至200mm(8"圓晶)
           
          　　·轉(zhuǎn)速分辨率：±1 RPM
           
          　　·旋涂速度：20-3000rpm(空載)
           
          　　·旋涂加速度：10-10,000rpm/sec(空載)
           
          　　·工藝時間設(shè)定： 0-3,000sec/step，時間設(shè)置精度： 0.1sec
           
          　　·該機型適用于標準3路顯影機(1路洗衣液，1路純水，1路氮氣)
           
          　　·單步工藝及多步工藝可選，內(nèi)置100組可編輯程序
           
          　　·可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機或更大基片的顯影機。
           
          　　設(shè)備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能，并且噴嘴位置可程控移動，實現(xiàn)自動顯影和清洗作業(yè)。
           
          
				        
          
                                                                                        				    
          
				
          
			
          
		
          

       
        

		

        

		



  
    
    				
			 
    
    

    

     
      
     
	 

 
	 
	
	
	

          
	
          
		
          
			
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