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parker膜片減壓閥產(chǎn)品描述：
派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場上*的微型超高純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提高了MFC（質(zhì)量流量控制器）的性能，這對半導(dǎo)體生產(chǎn)的重復(fù)性和產(chǎn)量至關(guān)重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對半導(dǎo)體應(yīng)用中至關(guān)重要的的過程污染.
減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提高出色響應(yīng)。產(chǎn)品采用自動定心束縛膜片設(shè)計，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進(jìn)一步提高工藝清潔度和吹掃性能.
SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內(nèi)部電解拋光 Vericlean? 316L不銹鋼。Vericlean? 是派克公司的UHP超高純級不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22?。這些材料與SMSQ2Micro系列設(shè)計特點相結(jié)合，使SMSQ2Micro系列具有強(qiáng)耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命，入口壓力高達(dá)250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規(guī)范.
SMSQ2Micro系列減壓閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，使用質(zhì)譜儀以獲得在苛刻超高純應(yīng)用中的性能和應(yīng)用市場:
半導(dǎo)體
分析試驗室
航空航天
工業(yè)
SMSQ2MICRO30102膜片減壓閥特點和優(yōu)勢:
? 有C 和 W密封貼面安裝1-1/8
parker膜片減壓閥性能特點
閥體材料潔凈316L不銹鋼
壓縮構(gòu)件材料潔凈316L不銹鋼
隔膜材料哈氏合金 C-22
閥芯材料哈氏合金 C-22
閥座材料PCTFE
帽材料銅鍍鎳
螺母材料不銹鋼
旋鈕材料ABS (藍(lán)) (SMSQ2Micro)ABS (黑) (SMSQ2Micro130E)
爆破壓力750 psig (52 barg)
可承受壓力375 psig (26 barg)
流速Cv: 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)
內(nèi)部泄漏率< 5 x 10-8 cc/sec He
外部泄漏率< 2 x 10-10 cc/sec He
體積0.08 cm3
重量0.9 lb0.42 kg
表面處理5微英寸粗糙度
大入口額定壓力250 psig / 17 barg
出口額定壓力-10 psig - 60 psig (260 torr - 4.1 barg)
高運(yùn)行溫度66 °C150 °F
低運(yùn)行溫度-40 °C-40 °F
SMSQ2MICRO30102膜片減壓閥工作原理:
減壓閥是氣動調(diào)節(jié)閥的一個配件，主要作用是將氣源的壓力減
壓并穩(wěn)定到一個定值，以便于調(diào)節(jié)閥能夠獲得穩(wěn)定的氣源動力用于調(diào)節(jié)控制。 按結(jié)構(gòu)形式可分為薄膜式、彈簧薄膜式、活塞式、杠桿式和波紋管式；按閥座數(shù)目可分為單座式和雙座式；按閥瓣的位置不同可分為正作用式和反作用式。
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