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HEIDENHAIN海德漢敞開(kāi)式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于對(duì)測(cè)量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)
海德漢 – 高精位置測(cè)量和控制技術(shù)
約翰內(nèi)斯•海德漢博士公司研發(fā)和生產(chǎn)高質(zhì)量直線光柵尺和角度編碼器、旋轉(zhuǎn)編碼器、數(shù)顯裝置和數(shù)控系統(tǒng)。 海德漢公司產(chǎn)品主要用于精密機(jī)床和電子元件的生產(chǎn)和加工設(shè)備。
我們擁有研發(fā)和生產(chǎn)測(cè)量設(shè)備和數(shù)控系統(tǒng)的豐富經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)知識(shí)，我們?yōu)槲磥?lái)大型設(shè)備和生產(chǎn)型機(jī)床的自動(dòng)化打造發(fā)展基礎(chǔ)。
典型應(yīng)用包括：
半導(dǎo)體業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
PCB電路板組裝機(jī)
超高精度機(jī)床
高精度機(jī)床
測(cè)量機(jī)和比較儀，測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備
直驅(qū)電機(jī)
HEIDENHAIN海德漢敞開(kāi)式直線光柵尺技術(shù)參數(shù)：
| 技術(shù)指標(biāo) | LIP 382 |
| 測(cè)量標(biāo)準(zhǔn) | Zerodur玻璃陶瓷上的DIADUR相位光柵；光柵周期0.512微米 |
| 線性膨脹系數(shù) | α THERM =（0±0.1）×10 -6 ? -1 |
| 精度等級(jí) | ±0.5 µm（可根據(jù)要求提供更高的精度等級(jí)） |
| 基線錯(cuò)誤 | ≤ ±0.075 µm / 5毫米 |
| 測(cè)量長(zhǎng)度ML * ，單位mm | 70 120 150 170 220 270 |
| 參考標(biāo)記 | 沒(méi)有 |
| 接口 | 1 V PP |
| 綜合插補(bǔ) | – |
| 信號(hào)周期 | 0.128微米 |
| 截止頻率–3 dB | ≥1兆赫 |
| 掃描頻率* | – |
| 邊緣分離a | |
| 移動(dòng)速度 | ≤ 7.6米/分鐘 |
| 插補(bǔ)誤差 | ±0.01納米 |
| 位置噪聲RMS | 0.06 nm（1 MHz 1）） |
| 激光 | 掃描頭和天平安裝： 1級(jí) |
| 未安裝掃描頭： 3B級(jí) | |
| 使用的激光二極管： 3B級(jí) | |
| 電氣連接 | 0.5 m電纜至接口電子設(shè)備（APE）， |
| 可連接至APE的單獨(dú)適配器電纜（1 m / 3 m / 6 m / 9 m） | |
| 電纜長(zhǎng)度 | 參見(jiàn)接口說(shuō)明，但≤30 m（使用海德漢電纜） |
| 電源 | 直流5 V±0.25 V |
| 目前的消費(fèi) | <190毫安 |
| 振動(dòng)55 Hz至2000 Hz | ≤4 m / s 2（EN 60068-2-6） |
| 震動(dòng)11毫秒 | ≤50 m / s 2（EN 60068-2-27） |
| 工作溫度 | 0°C至40°C |
| 質(zhì)譜 掃描頭 | 150克 |
| 接口電子 | 100克 |
| 線性刻度 | ML70毫米： 260克，ML ≥ 150毫米： 700克 |
| 連接線 | 38克/平方米 |
| * 訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)選擇 | |
| 1） 后續(xù)電子設(shè)備的–3 dB截止頻率 | |
更多產(chǎn)品詳見(jiàn)：海德漢
