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          行業(yè)產(chǎn)品

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          [供應(yīng)]PR500/510-等離子灰化機(jī)
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          • PR500/510-等離子灰化機(jī)
          貨物所在地:
          廣東深圳市
          更新時(shí)間:
          2021-01-21 14:05:04
          有效期:
          2021年1月21日 -- 2022年1月21日
          已獲點(diǎn)擊:
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          產(chǎn)品簡(jiǎn)介

          YAMATO雅馬拓等離子灰化機(jī) PR500/510高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215&amp;#215;305mm
          低溫等離子經(jīng)典桶型。
          PR500:手動(dòng)控制 PR510:自動(dòng)觸摸屏控制

          詳細(xì)介紹

          YAMATO雅馬拓等離子灰化機(jī) PR500/510

          高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm 

          低溫等離子·經(jīng)典桶型。 

          PR500:手動(dòng)控制 PR510:自動(dòng)觸摸屏控制

          低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

          YAMATO雅馬拓等離子灰化機(jī) PR500/510用途 

          ·去除光刻膠

          ·部品清洗

          ·界面活性處理

          ·微研磨

          ·硅晶圓,玻璃基板對(duì)應(yīng) 

          特征 

          ·大口徑(Φ215mm)石英反應(yīng)腔

          ·小型一體化設(shè)計(jì)

          ·操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式(PR510型) 

           

          規(guī)格 

          型號(hào)

          PR500

          PR510

          模式

          DP模式,桶型

          控制部

          高頻輸出功率

          Max500W

          頻率

          13.56MHz

          同調(diào)方式

          自動(dòng)協(xié)調(diào)

          反應(yīng)部

          反應(yīng)腔

          石英 Φ215×305mm

          反應(yīng)氣體

          2系統(tǒng)(O2/CF4)

          控制

          手動(dòng)

          觸摸屏自動(dòng)控制

          配管材質(zhì)

          不銹鋼、特氟龍

          外形尺寸

          W438×D520×H760mm

          參照規(guī)格書(shū)

          重量

          約60kg

          參照規(guī)格書(shū)

          電源

          單相AC100V 9A

          三相AC200V 8A

           

           

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