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詳細介紹
反射式膜厚測量儀
A3-SR 系列反射式膜厚測量儀可用于測量半導(dǎo)體鍍膜，手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度，PET柔性涂布的膠厚等厚度，LED鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。A3-SR系列可用于測量2納米到3000微米的膜厚，測量精度達到0.1納米。 在折射率未知的情況下，A3-SR 還可用于同時對折射率和膜厚進行測量。配手持式探頭,A3-SR 可以用來一鍵式測量車燈罩表面硬化膜(包括過渡層)和背面的防霧層,精度達到0.02um, 只需1秒鐘,還可以測量內(nèi)飾件,外飾件的鋁陽極氧化層和漆層的厚度,精度達到0.02um
此外，A3-SR 還可用于測量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以內(nèi)。A3-SR進行測量簡單可靠，實際測量采樣時間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進行手動測量，每次測量時間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以內(nèi)的模型并可對多層膜厚參數(shù)進行測量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫，同時支持函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。
同時，客戶還可以通過軟件自帶數(shù)據(jù)庫對材料，菜單進行管理并回溯檢查測量結(jié)果。目標應(yīng)用：半導(dǎo)體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測量藍寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚，顏色測量卷對卷柔性涂布光學(xué)膜其他需要測量膜厚的場合
產(chǎn)品型號和系統(tǒng)設(shè)置：
產(chǎn)品型號 | A3-SR-200 |
產(chǎn)品尺寸
| W270*D217*（H90+H140） 測試支架 |
測試方式 | 紫外+可見+UV+VIS 反射(R) |
波長范圍 | 250-1050納米 |
光源 | 鎢鹵素?zé)?span>+氘燈 鹵素?zé)魳朔Q壽命10000小時,氘燈標稱壽命1500小時 |
光路和傳感器 | 光纖式(FILBER )+進口光譜儀 |
入射角 | 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) |
參考光樣品 | 硅片 |
光斑大小 LIGHT SPOT | About 1 mm（標配，可以根據(jù)用戶要求配置） |
樣品大小 SAMPLE SIZE | 10 mm TO 300 mm (可以根據(jù)用戶要求配置) |
膜厚測量性能指標（THICKNESS SPECIFICATION）：
產(chǎn)品型號 | A3-SR-200 |
厚度測量 1 Thickness范圍 | 2 nm - 100 （200）um |
折射率 1（厚度要求） N | 50nm and up |
準確性 2 Accuracy | 2 nm 或0. 5% |
精度 3 precision | 0.1 nm |
1表內(nèi)為典型數(shù)值, 實際上材料和待測結(jié)構(gòu)也會影響性能
2 使用硅片上的二氧化硅測量，實際上材料和待測結(jié)構(gòu)也會影響性能
3 使用硅片上的二氧化硅（500納米）測量30次得出的1階標準均方差,每次測量小于1秒.
軟件(SOFTWARE)：
檢測項目 | 標準型 |
層數(shù) | 10 層 |
材料 | 表格型和函數(shù)型 |
粗糙度模型 | 有 |
反射/透射 | 反射型+透射型 |
材料庫 | 表格型+函數(shù)型 |
入射角 | 垂直入射 |
折射率測量 | 有 |
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