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詳細(xì)介紹
反射式膜厚測量儀
SR系列反射式膜厚測量儀可用于測量半導(dǎo)體鍍膜，手機觸摸屏ITO等鍍膜厚度，PET柔性涂布的膠厚等厚度，LED鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合。SR可用于測量2納米到3000微米的膜厚，測量精度達(dá)到0.1納米。 在折射率未知的情況下，還可用于同時對折射率和膜厚進行測量。
此外，SR還可用于測量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以內(nèi)。A3-SR進行測量簡單可靠，實際測量采樣時間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進行手動測量，每次測量時間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以內(nèi)的模型并可對多層膜厚參數(shù)進行測量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫，同時支持函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。
同時，客戶還可以通過軟件自帶數(shù)據(jù)庫對材料，菜單進行管理并回溯檢查測量結(jié)果。目標(biāo)應(yīng)用：半導(dǎo)體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測量藍(lán)寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚，顏色測量卷對卷柔性涂布光學(xué)膜其他需要測量膜厚的場合.
產(chǎn)品型號和系統(tǒng)設(shè)置：
產(chǎn)品型號 | A3-SR-100 |
產(chǎn)品尺寸 | W270*D217*（H90+H140） |
產(chǎn)品圖片 | |
測試方式 | 可見VIS 反射(R) |
波長范圍 | 380nm - 1050 nm |
光源 | 進口 鎢鹵素?zé)?/span> 壽命10000小時 |
光路和傳感器 | 光纖式(FILBER,進口 )+進口光譜儀 |
入射角 | 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) |
參考光樣品 | 硅片 |
光斑大小 | About 1 mm（標(biāo)配，可以根據(jù)用戶要求配置） |
樣品大小 | 10 mm TO 300 mm (可以根據(jù)用戶要求配置) |
光學(xué)測量技術(shù)參數(shù)（OPTICAL SPECIFICATION）
測試方式 | 反射 |
膜厚測量性能指標(biāo)（THICKNESS SPECIFICATION）：
產(chǎn)品型號 | A3-SR-100 |
厚度測量1 | 15nm - 100 um |
折射率1（厚度要求） | 大于100nm |
準(zhǔn)確性2 | 2 nm 或0. 5% |
精度3 | 0.1 nm |
1表內(nèi)為典型數(shù)值, 實際上材料和待測結(jié)構(gòu)也會影響性能
2 使用硅片上的二氧化硅測量，實際上材料和待測結(jié)構(gòu)也會影響性能
3 使用硅片上的二氧化硅（500納米）測量30次得出的1階標(biāo)準(zhǔn)均方差,每次測量小于1秒.
軟件(SOFTWARE)：
檢測項目 | 標(biāo)準(zhǔn)型 |
層數(shù) | 10 層 |
材料 | 表格型和函數(shù)型 |
粗糙度模型 | 有 |
反射/透射 | 反射型+透射型 |
材料庫 | 表格型+函數(shù)型 |
入射角 | 垂直入射 |
折射率測量 | 有 |
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