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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
JH-Ⅵ-1電阻溫度特性測定儀（阻溫函數(shù)儀）該儀器采用*的電子、數(shù)控技術(shù)，用于測試各種導(dǎo)電材料介質(zhì)（電阻）的阻值隨溫度變化的值，通過繪制電阻，溫度由線，可以直觀地定性分析電阻溫度變化率。適用于大專院校電子材料實驗室等的研究和各教學(xué)演示用。
JH-Ⅵ-1電阻溫度特性測定儀（阻溫函數(shù)儀）主要技術(shù)參數(shù)：
1.溫度范圍：室溫—600℃；
2.電阻范圍：0—1MΩ，20MΩ，100MΩ等。（可選擇）
3.加熱功率：0—300W可調(diào)；
4.電源：220V±10﹪ 頻率：50HZ；
5.環(huán)境溫度：0—40℃；
6.環(huán)境濕度：≤85℃﹪
電阻溫度系數(shù)的定義與它的內(nèi)在物理含義，隨著電阻溫度系數(shù)的增加，金屬應(yīng)該具有更好的電遷移性能和應(yīng)力遷移性能。為驗證此種結(jié)論，我們對一個銅工藝技術(shù)的研發(fā)過程中不同階段的電遷移測試的歷史數(shù)據(jù)（失效時間與電阻溫度系數(shù)）進行了總結(jié)，電遷移失效時間和電阻溫度系數(shù)是在相同的測試結(jié)構(gòu)以及測試條件下得到的，不同的只是制造工藝。電阻溫度系數(shù)與失效時間具有正相關(guān)性，大的電阻溫度系數(shù)具有比較長的失效時間。電阻溫度系數(shù)變化10%時，失效時間變化了一個數(shù)量級，可見電阻溫度系數(shù)是一個可以反映金屬性能的非常敏感的參數(shù)，能夠?qū)饘倏煽啃赃M行早期評估。
在兩組工藝的電阻溫度系數(shù)相差較小時，電遷移失效時間也比較接近，但并不*服從正相關(guān)性。這說明在電阻溫度系數(shù)沒有明顯差異時（<1%），我們不能僅僅根據(jù)電阻溫度系數(shù)的大小來判斷工藝的好壞，結(jié)論會受到電阻溫度系數(shù)本身的測量精度及電遷移測試精度的影響。
為了研究電阻溫度系數(shù)測量精度對可靠性測試的影響，我們安排了兩組芯片級恒溫電遷移測試在同一片晶圓上，一組樣品使用實際測量的電阻溫度系數(shù)（0.002921/K），一組使用原先的電阻溫度系數(shù)（0.002970/K）。原有的比較大的電阻溫度系數(shù)具有比較短的失效時間。從數(shù)據(jù)上看，結(jié)果似乎與先前的正相關(guān)性相反，為了解釋這個矛盾，我們需要研究電阻溫度系數(shù)在恒溫電遷移測試中的作用。恒溫電遷移測試是通過電流的焦耳熱對金屬進行加熱并保持在一個恒定的溫度上，溫度是根據(jù)電阻與溫度的關(guān)系計算的。
實際測試中，測試程序會根據(jù)給定的條件利用公式計算出測試溫度下的電阻，并在測試中當測試結(jié)構(gòu)的阻值到達此目標阻值時認為溫度到達測試溫度。如果給定的電阻溫度系數(shù)大于實際值，計算出來的目標阻值將會大于實際的阻值，這意味著實際的測試溫度高于設(shè)定的溫度。
因此，給定的比較大的電阻溫度系數(shù)將會的到比較短的失效時間。電阻溫度系數(shù)的誤差將引起相同比例的測試溫度的誤差，例如對于一個300 度的測試來說，1%的電阻溫度系數(shù)的誤差將引起3 度的測試誤差和更大的失效時間的誤差。這從另一方面說明了電阻溫度系數(shù)測量的準確性對測試結(jié)果以及金屬性能判定的重要性。需要指出的是，電阻與溫度的線性關(guān)系只是在一定的溫度范圍內(nèi)（0 - 180℃）保持恒定，電阻溫度系數(shù)的測量需要在此溫度范圍內(nèi)完成。
