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氦氣熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱傳導(dǎo)原理測(cè)流量的儀表。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)采用恒溫差法對(duì)氣體質(zhì)量流量進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便，測(cè)量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)。熱式質(zhì)量流量計(jì)由傳感器和信號(hào)分析、處理與控制單元兩部分構(gòu)成。傳感器一部分測(cè)量溫度，而另一部分用于加熱。前者監(jiān)控實(shí)際過(guò)程溫度值；后者維持一恒定溫度值，使其總是高于實(shí)際過(guò)程溫度且與該過(guò)程溫度保持恒定的溫度差。氣體的質(zhì)量流量越大，冷卻效應(yīng)就越大

氦氣熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱傳導(dǎo)原理測(cè)流量的儀表。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)采用恒溫差法對(duì)氣體質(zhì)量流量進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便，測(cè)量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)。熱式質(zhì)量流量計(jì)由傳感器和信號(hào)分析、處理與控制單元兩部分構(gòu)成。傳感器一部分測(cè)量溫度，而另一部分用于加熱。前者監(jiān)控實(shí)際過(guò)程溫度值；后者維持一恒定溫度值，使其總是高于實(shí)際過(guò)程溫度且與該過(guò)程溫度保持恒定的溫度差。氣體的質(zhì)量流量越大，冷卻效應(yīng)就越大，維持差分溫度所需的能量也就越大。因此，通過(guò)測(cè)量加熱器的能量便可得出被測(cè)氣體的質(zhì)量流量。

UHMF型氦氣熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的工作原理是流量計(jì)的傳感器部分由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)鉑電阻溫度傳感器組成，儀表工作時(shí)，一個(gè)傳感器不間斷地測(cè)量介質(zhì)溫度 T1；另一個(gè)傳感器自加熱到高于介質(zhì)溫度 T2，它用于感測(cè)流體流速，稱為速度傳感器。該溫度ΔT=T2-T1，T2>T1，當(dāng)有流體流過(guò)時(shí)，由于氣體分子碰撞傳感器并將 T2的熱量帶走，使 T2 的溫度下降，若要使ΔT 保持不變，就要提高 T2 的供電電流，氣體流動(dòng)速度熱快，帶走的熱量也就越多，氣體流速和增加的熱量存在固定的函數(shù)關(guān)系，這就是恒溫差原理。

其中

Pg— 流體比重（和密度相關(guān)）

V — 流速

K — 平衡系數(shù)

Q — 加熱量（和比熱及結(jié)構(gòu)相關(guān)）

ΔT — 溫度差

由于傳感器溫度比介質(zhì)（環(huán)境）溫度總是自動(dòng)恒定高出 30℃左右，所以熱式氣體流量

計(jì)從原理上不需要溫度補(bǔ)償。 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)適用介質(zhì)溫度范圍為-40-220℃。

（1） 式中流體比重和密度相關(guān)

其中

Pg— 工況體積下的介質(zhì)密度（kg/m3）

ρn — 標(biāo)準(zhǔn)條件下介質(zhì)密度（101.325 Kpa、20℃） （kg/m3）

P — 工況壓力 （kPa）

T — 工況溫度（℃）

從（1）（2）式可以看出，流速和工況壓力，氣體密度，工況溫度函數(shù)關(guān)系已確定。

恒溫差熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)不但不受溫度影響，而且不受壓力的影響，熱式氣體質(zhì)量流

量計(jì)是真正的直接式質(zhì)量流量計(jì)，用戶不必對(duì)壓力和溫度進(jìn)行修正。

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)特點(diǎn)：

1.熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)無(wú)壓力損失或者說(shuō)壓損非常小，無(wú)阻流元件，不存在測(cè)量引起的壓力損失，并且?guī)Х至鞴軣岱植际絋MF及侵入式TMF雖然有阻流件，但壓力損失也不大。

2.可以測(cè)量極低流速或是微小流量現(xiàn)場(chǎng)，可以測(cè)量低壓氣體流量甚至是真空狀的分子流量。

3.熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的儀表系數(shù)是隨氣體種類或是混合氣體組分而變，不能測(cè)量質(zhì)量熱容（比熱容）變化的流體。因氣體種類或組分改變，其定壓比熱容Jp和熱傳導(dǎo)系數(shù)隨之而變，影響測(cè)量值。更不能用于混相流體或可能產(chǎn)生相變流體。

4.高可靠性，無(wú)活動(dòng)部件。

5.熱分布式TMF用于CO、N2、02等接近理想氣體的雙原子氣體，可直接用空氣校驗(yàn)。

6.測(cè)量氣體流量時(shí)，常以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量單位表示，介質(zhì)溫度／壓力變化幾乎不影響所測(cè)量值。若標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下密度恒定(即組分不變)，則類似于質(zhì)量流量。

UHMF型熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的技術(shù)參數(shù)

UHMF系列熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的應(yīng)用實(shí)例

1.石油化工行業(yè)

應(yīng)用場(chǎng)合：火炬氣排放監(jiān)控

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：寬量程比，傳感器不易堵塞，可在線插拔清洗，適用氣體廣泛

2.電力行業(yè)

應(yīng)用場(chǎng)合：鍋爐一次風(fēng)、二次風(fēng)、磨煤風(fēng)的風(fēng)量測(cè)量

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：安裝簡(jiǎn)便，無(wú)直管段要求，低壓力損失，無(wú)需溫壓補(bǔ)償，可在苛刻的條件下使用（如：空氣中含有粉塵、顆粒、磨損嚴(yán)重、低壓力等）

3.冶金行業(yè)

應(yīng)用場(chǎng)合：高爐煤氣、焦?fàn)t煤氣測(cè)量

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：按實(shí)際介質(zhì)組份標(biāo)定，可對(duì)組份變化進(jìn)行修正，可在線清洗傳感器，插入長(zhǎng)度可任意調(diào)整

4.電子行業(yè)

應(yīng)用場(chǎng)合：高純度氣體質(zhì)量流量測(cè)量

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：無(wú)需溫壓補(bǔ)償直接測(cè)量質(zhì)量流量，傳感頭經(jīng)過(guò)高度拋光，可用于貿(mào)易結(jié)算

5.供暖通風(fēng)和空調(diào)系統(tǒng)（HVAC）

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：產(chǎn)品反應(yīng)靈敏、運(yùn)行可靠，對(duì)安裝直管段無(wú)嚴(yán)格要求

6.水處理行業(yè)

應(yīng)用場(chǎng)合：測(cè)量曝氣池的空氣流量

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：耐臟、耐塵，真正無(wú)壓降，現(xiàn)場(chǎng)安裝簡(jiǎn)便

7.食品行業(yè)

應(yīng)用場(chǎng)合：向反應(yīng)器中通入適量氣體，控制過(guò)程及質(zhì)量