用于SU-8模具的具有對準(zhǔn)功能的軟光刻UV系統(tǒng)

產(chǎn)品SKU： BHL-UV-system-with-alignment
分類： 微細(xì)加工
這個實驗室實驗室的紫外線LED室是制造具有專業(yè)品質(zhì)的SU-8模具的解決方案。將光敏化學(xué)品暴露于紫外線下以形成模具的圖案，然后將其用于微流控芯片的制作。具有易于使用的視頻輔助對準(zhǔn)系統(tǒng)，可確保*指導(dǎo)和高度的過程。您甚至不需要潔凈室即可使用它！

用于SU-8模具的具有對準(zhǔn)功能的軟光刻UV系統(tǒng)

產(chǎn)品SKU： BHL-UV-system-with-alignment
分類： 微細(xì)加工
這個實驗室實驗室的紫外線LED室是制造具有專業(yè)品質(zhì)的SU-8模具的解決方案。將光敏化學(xué)品暴露于紫外線下以形成模具的圖案，然后將其用于微流控芯片的制作。具有易于使用的視頻輔助對準(zhǔn)系統(tǒng)，可確保*指導(dǎo)和高度的過程。您甚至不需要潔凈室即可使用它！

 

為什么要制造自己的SU-8模具？

多虧了這個紫外線室，您可以控制自己的知識產(chǎn)權(quán)，避免浪費時間與中介機(jī)構(gòu)進(jìn)行討論，并且可以更快地設(shè)置任何新的實驗。該設(shè)備甚至不需要潔凈室即可達(dá)到專業(yè)精度：利用專業(yè)制造的優(yōu)勢而*！

 

特點與優(yōu)勢

該產(chǎn)品配有由PAD操縱的視頻定位系統(tǒng)，對準(zhǔn)分辨率低至5 µm。

 

準(zhǔn)確 

單色紫外線曝光（帶寬低于10 nm）。

高度準(zhǔn)直：光發(fā)散角<2°。

掩模分辨率為2 µm：適用于微流體的大多數(shù)應(yīng)用。

30 mW /cm²的強(qiáng)大功率密度。

 

方便

LED燈：無加熱，壽命超過10000小時，無預(yù)熱時間。波長為365 nm。

小而安全：您不需要任何潔凈室即可使用它。

即插即用，用戶友好的觸摸屏界面，用于編程。

該系統(tǒng)與硬掩膜觸點或軟掩膜觸點兼容，并且可以設(shè)置掩膜和基板之間的各種距離。 

 

強(qiáng)大的支持

如果需要，我們的團(tuán)隊將在微細(xì)加工過程的每個步驟中為您提供指導(dǎo)。我們可以隨時幫助您解決問題。

我們很樂意告訴您有關(guān)此產(chǎn)品的更多信息！歡迎與我們聯(lián)系。

 

為什么要制造自己的SU-8模具？

多虧了這個紫外線室，您可以控制自己的知識產(chǎn)權(quán)，避免浪費時間與中介機(jī)構(gòu)進(jìn)行討論，并且可以更快地設(shè)置任何新的實驗。該設(shè)備甚至不需要潔凈室即可達(dá)到專業(yè)精度：利用專業(yè)制造的優(yōu)勢而*！

 

特點與優(yōu)勢

該產(chǎn)品配有由PAD操縱的視頻定位系統(tǒng)，對準(zhǔn)分辨率低至5 µm。

 

準(zhǔn)確 

單色紫外線曝光（帶寬低于10 nm）。

高度準(zhǔn)直：光發(fā)散角<2°。

掩模分辨率為2 µm：適用于微流體的大多數(shù)應(yīng)用。

30 mW /cm²的強(qiáng)大功率密度。

 

方便

LED燈：無加熱，壽命超過10000小時，無預(yù)熱時間。波長為365 nm。

小而安全：您不需要任何潔凈室即可使用它。

即插即用，用戶友好的觸摸屏界面，用于編程。

該系統(tǒng)與硬掩膜觸點或軟掩膜觸點兼容，并且可以設(shè)置掩膜和基板之間的各種距離。 

 

強(qiáng)大的支持

如果需要，我們的團(tuán)隊將在微細(xì)加工過程的每個步驟中為您提供指導(dǎo)。我們可以隨時幫助您解決問題。

我們很樂意告訴您有關(guān)此產(chǎn)品的更多信息！歡迎與我們聯(lián)系。

 

• 視頻輔助定位系統(tǒng)
• 沒有預(yù)熱時間
• 閃光模式曝光：無機(jī)械應(yīng)力，延長了機(jī)器使用壽命
• 自動化晶圓裝卸系統(tǒng)
• 兼容玻璃和塑料口罩
• 觸摸屏界面

該設(shè)備具有1年保修，并通過電子郵件，電話或Skype提供技術(shù)支持。