詳細(xì)介紹
CF-R Bayard-Alpert Pirani組合表
CF-R Bayard-Alpert Pirani組合表
該裝置包括一個DN 40 CF-R法蘭。
配置:
•帶中心環(huán)和過濾器的密封件
BPG400零件號:353-502
傳感器零件號:354-491
特征
- 從5×10 -10 mbar到大氣(3.8×10 -10 Torr到大氣)的極寬測量范圍
- 在10 -8 …10 -2 mbar(5%)的過程壓力范圍內(nèi)具有出色的可重復(fù)性
- 防止纖維絲過早老化和過度污染
- 長壽命氧化釔涂層銥絲
- 自動高真空皮拉尼調(diào)節(jié)器減少了操作員的干預(yù)
描述
Inficon BPG400 Bayard-Alpert Pirani組合壓力表在單個緊湊型裝置中充當(dāng)兩個壓力表,從5×10 -10 mbar到大氣(3.
8×10 -10托(大氣)。組合技術(shù)降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性。BPG400以一種經(jīng)濟(jì)的包裝提供了對基礎(chǔ)壓力測量的可承受性和可重復(fù)性。典型的應(yīng)用是半導(dǎo)體工藝室和傳輸室中的壓力測量,工業(yè)涂料以及低真空至超高真空范圍內(nèi)的常規(guī)真空測量和控制。
注:楊清辰發(fā)布