Physik Instrumente P-616NanoCube納米定位器
緊湊的并聯(lián)運動壓電系統(tǒng),用于納米定位和光纖對準
平行運動設(shè)計,在所有空間方向上都具有的剛度
即使在負載高達100 g的情況下,也能通過高共振頻率實現(xiàn)高動態(tài)運動
單一安裝平臺,創(chuàng)新的產(chǎn)品設(shè)計可靈活使用。
市場上具有ID芯片功能的納米定位器
市場上小和輕的NanoCube,行程范圍為100 µm
圖像處理/穩(wěn)定化
納米定位具有很高的平整度和運動平直度
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性,長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合,并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時,數(shù)字控制器的自動校準功能都會使用此數(shù)據(jù)。
Physik Instrumente PICMA壓電執(zhí)行器,使用壽命長
的PICMA壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌,導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護,無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
平行位置測量,在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為基準進行測量。軸之間不需要的串擾可以實時(根據(jù)帶寬)得到主動補償(主動引導(dǎo))。即使在動態(tài)操作中,也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。
應(yīng)用領(lǐng)域
光纖定位和對準
掃描顯微鏡
2-光子聚合
納米技術(shù)與納米制造
光子學/集成光學
顯微操作
樣品定位
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性,長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機械和控制器可以根據(jù)需要進行組合,并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時,數(shù)字控制器的自動校準功能都會使用此數(shù)據(jù)。
適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的除氣率。
Physik Instrumente PICMA壓電執(zhí)行器,使用壽命長
的PICMA壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌,導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護,無摩擦和無磨損,并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力,并且擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的,并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
通過并聯(lián)運動學實現(xiàn)高動態(tài)多軸運行
在并聯(lián)運動多軸系統(tǒng)中,所有執(zhí)行器都作用在一個公共平臺上。小的慣性和所有軸的相同設(shè)計允許快速,動態(tài)且仍然的運動。
三、Physik Instrumente產(chǎn)品分類
Physik Instrumente納米定位壓電彎曲平臺
Physik Instrumente微型舞臺
Physik Instrumente線性平臺
Physik Instrumente線性執(zhí)行器
Physik Instrumente旋轉(zhuǎn)臺
Physik Instrumentexy平臺
四、Physik Instrumente產(chǎn)品型號;
Physik Instrumente L-505.021212F
Physik Instrumente L-505.AP1
Physik Instrumente G-901.R3197
Physik Instrumente P-734.2CL
Physik Instrumente E-501,00
Physik Instrumente E-503,00
Physik Instrumente E-509,C3A,
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente L-611.90AD
Physik Instrumente P-563.3CD
Physik Instrumente E-727.3CD
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente E-727.3CDAP
Physik Instrumente C-887.522
Physik Instrumente Hexapod H-811.F2:
Physik Instrumente U-780.DLS
Physik Instrumente N-565.160
Physik Instrumente N-565.260
Physik Instrumente納米定位器用于表面測量