產(chǎn)品名稱:紫外臭氧清洗機(UVO) 生產(chǎn)廠家:英國Ossila公司 產(chǎn)品型號:E511
1.用途:去除大多數(shù)無機基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機污染物。
2.工作條件
2.1.工作環(huán)境溫度:5-35℃;
2.2.工作環(huán)境濕度:≤70%;
2.3.電源:220/240V、50/60HZ。
3.技術(shù)要求
3.1.紫外燈類型:石英低壓汞蒸汽格柵燈;
3.2.燈管壽命大于5000小時;
3.3.高強度UV燈源:主要波長185nm和254nm;
3.4.UV燈管尺寸:100X100mm;
3.5.UV燈電源:4000V,30mA;
3.6.典型強度:28-32Mw/cm2 @253.7nm(1cm距離)
3.7.數(shù)字定時,定時范圍:0-60分鐘,屏幕柱狀顯示運行時間與剩余時間;
3.8.樣品臺尺寸120x120mm;
3.9.大處理樣品高14mm;
3.10.抽屜式樣品臺;
3.11.樣品臺開關(guān)自動安全保護,門打開UV自動關(guān)閉,防止對人身傷害;
3.12.多重安全保護:清洗室溫度超過50℃ (托盤溫度達到55℃)時系統(tǒng)會報警;溫度達到65℃時,系統(tǒng)報警并自動關(guān)機;溫度傳感器讀數(shù)錯誤,系統(tǒng)報警提示設(shè)備重啟。
3.13.大樣品尺寸:100x100mm;
3.14.樣品清洗無需溶劑;
3.15.總尺寸:長204mm、高227mm、寬300mm。
4.配置
4.1.主機 1臺;
4.2.電源線 1個;
4.3.說明書 1本。