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上海維特銳實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司是工廠、物流中心自動化輸送線設(shè)計(jì)、制造、安裝調(diào)試的專業(yè)工程公司。公司位于中國經(jīng)濟(jì)中心上海，科研力量雄厚、機(jī)械制造業(yè)發(fā)達(dá)。經(jīng)多年的發(fā)展，公司不僅對傳統(tǒng)產(chǎn)品進(jìn)行不斷完善、革新，精致的零件加工，細(xì)節(jié)的關(guān)注，使我們的產(chǎn)品更安全、經(jīng)濟(jì)、穩(wěn)定、美觀，更加自動化、人性化。

Brooks布魯克斯GF100質(zhì)量流量控制器應(yīng)用

GF100系列金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器*高純度氣路。超高精確，無污染的控制。

現(xiàn)今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學(xué)品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設(shè)計(jì)。

應(yīng)用

硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴(kuò)散、植入和 RTP

化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD

精密的表面涂層

分析系統(tǒng)

真空處理應(yīng)用

適用于對濕度或氧氣敏感的過程

高純度流路可最大限度降低過程污染，提高產(chǎn)率

超快速響應(yīng)能力

參數(shù)

流體類型  氣體

流量范圍-滿量程容量  06 sccm - 300 slpm

精度   SP ±1%

最大壓力   150 psig

溫度   50℃

 

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