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江蘇尼康金相顯微鏡L300N/L300ND

集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng)，在亮度、對比度和可操作性能方面都達到新的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。

大觀察樣品:

ECLIPSE L300 300 mm硅片；ECLIPSE L300D 300 mm硅片； ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。

觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；

使用CFI60光學(xué)系統(tǒng)，*消除耀斑影響，對比度更高，成象更加清晰、明亮；

物鏡齊焦距為60mm，可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離兩方面的要求；

主機剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；

光亮調(diào)節(jié)、孔徑調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面，使用方便，即使長期操作也不易產(chǎn)生疲勞；
 

尼康L300N/L300ND金相顯微鏡主要特點

• 專為300mm晶圓和光罩檢測

• 利用更高的分辨率，對比度和透射CFI60光學(xué)系統(tǒng)

• 更高的亮度比傳統(tǒng)的顯微鏡

• 新光源和四次美好的透射照明，*的光學(xué)設(shè)計結(jié)果

•預(yù)中心的燈箱提供更高的亮度，同時僅消耗一半的電力，并減少熱致離焦

• 電動物鏡轉(zhuǎn)換器比傳統(tǒng)模式更耐用三倍

 應(yīng)用 • 晶圓 • 液晶顯示器 • 其他各種檢查

 兩種機型可供選擇： 

•  L300N：Episcopic照明類型 

大樣品尺寸：300mm晶圓

*階段行程：354 x302毫米

放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標(biāo)而定）

•  L300ND：透射/ Episcopic照明類型 

大樣品尺寸：17英寸平板顯示器（FPD）

*階段行程：354 x302毫米（透射照明范圍：354 x268毫米）

放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標(biāo)而定）

 各種各樣的觀測技術(shù) 

各種各樣的觀測技術(shù)，如明場，暗場，簡單的偏光，DIC和外延flourescence觀察，是可能的。 采用Epi - flourescence觀察，紫外激發(fā)可應(yīng)用于包括300mm晶圓和OLED檢查應(yīng)用。

 暗場觀察 

新開發(fā)的暗場照明光學(xué)顯著提高圖像的亮度和提高分鐘內(nèi)樣品的劃痕和拓樸的檢測能力。

 明場觀察 

尼康CFI60系統(tǒng) - 一個成功合并的CF光學(xué)系統(tǒng)無限遠光學(xué) - 高亮度，高對比度的圖像。

 Nomarski DIC的觀測 

 尼康L300N/L300ND金相顯微鏡采用單棱鏡（Senarmont）系統(tǒng)，使所有的放大倍率DIC的觀察，通過簡單地插入物鏡轉(zhuǎn)換器單Nomarski棱鏡。  DIC的圖像清晰和與小的色調(diào)明快，即使在低放大倍率。 高對比度型DIC的滑塊允許更大的敏感性形成的DIC圖像。

 半兼容設(shè)計 

 尼康L300N/L300ND金相顯微鏡符合半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會（SEMI）為安全準(zhǔn)則（S7 - 0703）和人體工程學(xué)（S8 - 1103）。 由于目鏡的位置更貼近運營商，不觸摸階段的運營商，即使是他或她的走向，確保安全，舒適地觀看。

 防靜電更強有力的保障 

靜電放電涂料已應(yīng)用于身體的階段，鏡筒（L2 - TT2型），及各種控制。 這加強了防止污染的保障，并避免損壞由靜電引起的樣品，從而有利于單產(chǎn)提高。

 固定位置的XY控制 

 XY精運動控制仍然接近運營商在相同的位置，使其不必要的運營商，以延長他或她的手臂，移動舞臺。 因為移動的標(biāo)本和重點，可以進行一個手?jǐn)R在桌子上，操作者可以重點觀察。

 簡單的訪問控制 

主要控制旋鈕和按鈕都位于前面的基礎(chǔ)，允許快速，操作簡便，同時觀看樣品，并盡量減少在漫長的觀測疲勞。

 對焦目標(biāo) 

重點目標(biāo)輕松地移動和光路允許在低對比度的樣品，如裸晶圓容易對焦。

 長工作距離和高NA 

趁著60毫米齊焦距離，新系列提供更長的工作距離，同時保持較高的數(shù)值孔徑。  CFI60提供圖像的亮度和易于操作。 此外，光為中心進行了改進，以盡量減少圖像的變化，改變物鏡時可能發(fā)生的的。

 傾斜三目鏡筒 

傾斜三目鏡筒是超廣角的視野25毫米類型。 目鏡角度0 °和30 °之間，可設(shè)置允許用戶設(shè)置自己的更佳視點水平，以確保舒適的觀賞姿勢。 兩種類型提供不同的觀察/照相光路比：L2 - TT2（100:0 / 20:80）和L2 - TT（100:0 / 0:100）。

 以小的耀斑的高對比度

傾斜三目鏡筒是超廣角的視野25毫米類型。 目鏡角度0 °和30 °之間，可設(shè)置允許用戶設(shè)置自己的更佳視點水平，以確保舒適的觀賞姿勢。 兩種類型提供不同的觀察/照相光路比：L2 - TT2（100:0 / 20:80）和L2 - TT（100:0 / 0:100）。

 CFI60光學(xué) 

尼康L300N/L300ND金相顯微鏡系列采用CFI60光學(xué)系統(tǒng) - 融合了尼康*的CF設(shè)計和尼康無限遠光學(xué)性能優(yōu)良。  CFI60提供高清晰度，對比度和透射率，并提供了世界上水平高的光學(xué)性能。 已經(jīng)大大提高了圖像亮度比傳統(tǒng)的顯微鏡，使得新系列，適合各種檢查。

■ 規(guī)格
型號          ECLIPSE L300                           ECLIPSE L300N                     ECLIPSE L300ND
                          (反射照明型）                               (反射照明型）                （透射/反射照明型）
基座      內(nèi)置12V-100W鹵素?zé)艄庠?；?nèi)置用于電動控制器的電源
                     用于物鏡轉(zhuǎn)換器的電動控制器、鹵素?zé)袅炼瓤刂啤⒐馊θ~片控制器
鼻輪             具備對中功能的電動通用六座物鏡轉(zhuǎn)換器
物鏡       CFI60系列物鏡
照明轉(zhuǎn)換器            —                                                     —                                   反射/透射切換器
調(diào)焦部分 對焦:行程29mm，粗調(diào):12.7mm/轉(zhuǎn)(可扭距調(diào)節(jié).帶重新對焦機能)，
                        微調(diào):0.1mm/轉(zhuǎn)(以um為單位)
反射照明 12V100W高亮度鹵素?zé)粽彰餮b置，孔徑光闌（電動.可調(diào)心）、視場光闌（固定.帶對焦目標(biāo)），可插入小孔光闌滑塊(OPTION)，可插入∮25mm                           濾光片(NCB、ND2、ND4）、起偏器/檢偏器，觀察方法：明場、暗場、簡易偏光、微分干涉、反射熒光（僅用于L300N/L300ND/L200ND）
透射照明            —                                                    —                                   12W100W高亮度鹵素?zé)?/span>
鏡筒          L2-TTA超大視場正立調(diào)傾式三目鏡筒（視角0～30°）
L2-TT             2A超大視場正立調(diào)傾式三目鏡筒（俯角0～30°）
目鏡        CFI目鏡
載物臺        14x12載物臺、行程354mmx302mm（透射觀察范圍：354mmx268mm）
                       帶粗/微動切換功能，微動手輪位置固定
防靜電        從1000到10V放電時間在0.2秒以內(nèi)
耗電       1.2A/90W
尺寸       約360(W)x581(H)x951(D)mm（傾斜角度為10°時）

江蘇尼康金相顯微鏡L300N/L300ND