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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
山西冠贏自動化科技有限公司專業(yè)專注于工業(yè)自動化產(chǎn)品,電子電氣產(chǎn)品的批發(fā)銷售和技術(shù)服務(wù),向用戶提供全面的產(chǎn)品和解決方案服務(wù)、*的供應(yīng)鏈服務(wù)以及化和本地化服務(wù),致力于成為工業(yè)自動化、工業(yè)電氣領(lǐng)域用戶長期的產(chǎn)品應(yīng)用顧問和供應(yīng)鏈伙伴。
特點
1、運行穩(wěn)定;
2、可控性好;
3、響應(yīng)快速;
4、靈敏度高;
5、機械特性和調(diào)節(jié)特性的非線性度指標(biāo)嚴(yán)格(要求分別小于10%~15%和小于15%~25%)等特點;臺達(dá)伺服電機|ECMA-F11845SS|*
優(yōu)勢
伺服電機有交流伺服電機和直流伺服電機兩種,臺達(dá)伺服電機屬于交流伺服電機,與直流伺服電機比較,主要優(yōu)勢如下:臺達(dá)伺服電機|ECMA-F11845SS|*
1、無電刷和換向器,因此工作可靠,對維護和保養(yǎng)要求低;
2、定子繞組散熱比較方便;
3、慣量小,易于提高系統(tǒng)的快速性;
4、適應(yīng)于高速大力矩工作狀態(tài);
5、同功率下有較小的體積和重量。
應(yīng)用案例
隨著世界能源供應(yīng)的日趨緊張,可再生能源光伏產(chǎn)品發(fā)展迅猛,據(jù)行業(yè)統(tǒng)計2005年全國太陽能電池產(chǎn)能為300MW,到 2007年已發(fā)展到1000MW,到2010年我國太陽能電池/組件產(chǎn)能將達(dá)到5000MW以上,顯示出對單晶和多晶硅有很大的市場需求,比原來的市場預(yù)期提前了10年以上,也預(yù)示出單晶硅爐的市場需求將成倍增長。單晶硅爐是半導(dǎo)體材料直拉法晶體設(shè)備,其硅單晶棒料經(jīng)切割等后續(xù)工藝處理成芯片被制作為二極管.太陽能電池.集成電路等半導(dǎo)體材料的主要器件。近幾年來由于能源危機及地球環(huán)境改善帶來對新能源,可再生能源的巨大需求,光伏產(chǎn)業(yè)出現(xiàn)*的增長,半導(dǎo)體硅材料的生產(chǎn)又進入新的發(fā)展期,因此大力加速發(fā)展可再生能源.硅光伏產(chǎn)業(yè)及共基礎(chǔ)材料---高純半導(dǎo)體硅(單晶.多芯片)材料已成為當(dāng)務(wù)之急,而硅材料的生長離不開單晶硅爐和多晶硅爐的設(shè)備支持。
二、單晶硅爐的工藝流程簡介、技術(shù)需求及方案的分析
2-1、單晶硅爐的工藝流程簡介
單晶硅爐爐的組成組件可分成四部分
(1)爐體:包括石英坩堝,石墨坩堝,加熱及絕熱組件,爐壁
(2)晶棒及坩堝拉升旋轉(zhuǎn)機構(gòu):包括籽晶夾頭,吊線及拉升旋轉(zhuǎn)組件
(3)氣氛壓力控制:包括氣體流量控制,真空系統(tǒng)及壓力控制閥
(4)控制系統(tǒng):包括偵測感應(yīng)器及電腦控制系統(tǒng)
加工工藝:
加料→熔化→縮頸生長→放肩生長→等徑生長→尾部生長
(1)加料:將多晶硅原料及雜質(zhì)放入石英坩堝內(nèi),雜質(zhì)的種類依電阻的N或P型而定。雜質(zhì)種類有硼,磷,銻,砷。
(2)熔化:加完多晶硅原料于石英堝內(nèi)后,長晶爐必須關(guān)閉并抽成真空后充入高純氬氣使之維持一定壓力范圍內(nèi),然后打開石墨加熱器電源,加熱至熔化溫度(1420℃)以上,將多晶硅原料熔化。
(3)縮頸生長:當(dāng)硅熔體的溫度穩(wěn)定之后,將籽晶慢慢浸入硅熔體中。由于籽晶與硅熔體場接觸時的熱應(yīng)力,會使籽晶產(chǎn)生位錯,這些位錯必須利用縮勁生長使之消失掉??s頸生長是將籽晶快速向上提升,使長出的籽晶的直徑縮小到一定大?。?-6mm)由于位錯線與生長軸成一個交角,只要縮頸夠長,位錯便能長出晶體表面,產(chǎn)生零位錯的晶體。
(4)放肩生長:長完*之后,須降低溫度與拉速,使得晶體的直徑漸漸增大到所需的大小。
(5)等徑生長:長完*和肩部之后,借著拉速與溫度的不斷調(diào)整,可使晶棒直徑維持在正負(fù)2mm之間,這段直徑固定的部分即稱為等徑部分。單晶硅片取自于等徑部分。
(6)尾部生長:在長完等徑部分之后,如果立刻將晶棒與液面分開,那么效應(yīng)力將使得晶棒出現(xiàn)位錯與滑移線。于是為了避免此問題的發(fā)生,必須將晶棒的直徑慢慢縮小,直到成一尖點而與液面分開。這一過程稱之為尾部生長。長完的晶棒被升至上爐室冷卻一段時間后取出,即完成一次生長周期。
技術(shù)需求和方案分析
單晶硅爐上面共需要四個軸驅(qū)動,其中2個使用的是伺服控制系統(tǒng),另外2個使用的是直流驅(qū)動裝置實現(xiàn);該設(shè)備根據(jù)工藝需要,設(shè)備分為爐架、主爐室、副室、提拉旋轉(zhuǎn)機構(gòu),下隨動機構(gòu)及液壓提升機構(gòu)、真空及氣路系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、光學(xué)測量系統(tǒng)、電加熱和運動控制系統(tǒng)及計算機控制系統(tǒng)等諸多機構(gòu)。通過系統(tǒng)優(yōu)化,實現(xiàn)高科技產(chǎn)品的集成。其次設(shè)備采用了許多較新的機構(gòu)。如上提拉旋轉(zhuǎn)機構(gòu),通過花鍵軸配繞絲輪結(jié)合電刷環(huán),在很小的體積上實現(xiàn)了穩(wěn)定提拉和旋轉(zhuǎn),滿足工藝需求且降低了設(shè)備高度,再有下隨動機構(gòu)設(shè)備采用精密滾珠絲杠配合坩堝的磁流體密封,運動保持部件置于真空室外,實現(xiàn)精密運動與真空密封的*結(jié)合,使用穩(wěn)定可靠,還有液壓提升機構(gòu)對副室翻板閥的保持采用無自鎖,爐內(nèi)有漏硅等壓力驟增的緊急情況可以實現(xiàn)自動泄壓提高了設(shè)備的安全可靠性等等。在電器控制上設(shè)備采用可編程操作,代替了傳統(tǒng)的邏輯編程繼電器。電器控制系統(tǒng)由國產(chǎn)機大多采用的單片機,提升到IRCON和CCD工控自動化控制三個類型,提高了設(shè)備的自動化控制水平。
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