詳細介紹
非接觸厚度電阻率測試儀 型號:JXNRT1
一、測試原理
1、 原理
電阻率測試模塊是由一對共軸渦流傳感器,以及后續(xù)的處理電路組成。將半導體硅片置于兩個探頭的間隙中時,在電磁場的作用下,半導體硅片中會產(chǎn)生渦流效應,通過檢測渦流效應的大小,可以換算出該硅片的電阻率和方塊電阻。本方法是一種非接觸無損測量的方法,不損傷材料表面,可以在大多數(shù)場合有效替代四探針法測試電阻率以及方塊電阻。
非接觸厚度電阻率測試儀 2、厚度測試探頭原理
厚度探頭采用的是一對共軸電容位移傳感器。電容傳感器具有重復性好,測試數(shù)值穩(wěn)定,技術成熟等優(yōu)點,廣泛用于各種材料厚度的測試。
二、范圍
本設備為非接觸無損測量設備,測試過程中對硅片表面以及內(nèi)部不會造成損傷。特別于代替四探針法用于半導體硅片成品分選檢驗。一臺儀器可以同時對厚度和電阻率兩個指標進行測試分選,減少了測試工序和測試時間,提高了測試效率。
典型的客戶:科研單位、硅片生產(chǎn)廠商、半導體器件生產(chǎn)廠商、光伏企業(yè)、導電薄膜生產(chǎn)企業(yè)。
三、儀器構成
1、測試主機:1 臺
2、電源線:1 根
3、串口數(shù)據(jù)線:1 根
4、電腦端軟件:1 套
5、塑料定位柱:2 個
四、儀器外觀尺寸結構及圖片
1、整機尺寸:340*260*180mm
2、機箱顏色:電腦白
3、儀器結構:本儀器采用厚度探頭和電阻率探頭前后并列安裝的方式。
五、儀器主要指標
1、電氣規(guī)格
a. 使用標準三插頭,由 220V 交流電供電,整機功耗小于 15 瓦。
b. 本儀器測試平臺和外殼均為金屬材料,按照安全規(guī)范,請確保電源地線正確連接。
2、測試范圍
測試樣品要求:厚度小于 600um 的半導體硅片以及其他類似材料。(為客戶提供特殊定制,厚度大的測試范圍可以擴展到 800um)
電阻率范圍: L 檔: 0.2-5 Ω·cm
H 檔: 5-50 Ω·cm
注: 電阻率不在上述量程范圍內(nèi)的可以按要求調整, 調整的范圍可以在0.001-100Ω*cm。
厚度范圍: 100-600 um (定制版可以做到 300-800um) 注:普通版本厚度大于 700um 的硅片無法放入測試區(qū)域。
化工原料水分儀 化工原料水份儀 型號: FD-C1 |