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產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,電子,綜合

MSK-PSE-EC1515六源真空蒸鍍儀配備3組有機(jī)束源式蒸發(fā)源爐+3組舟式蒸發(fā)源，可蒸鍍切換最多6種有機(jī)材料如：Cu、Ag、C60、NPB、TPBi等材料；設(shè)備可與手套箱對(duì)接方便在手套箱中操作，采用前滑動(dòng)開門結(jié)構(gòu)。設(shè)備廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的教學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)以及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實(shí)驗(yàn)及開發(fā)新產(chǎn)品等。

功能特點(diǎn)

真空腔室：采用304不銹鋼腔室，設(shè)計(jì)有前門雙導(dǎo)軌和后門手動(dòng)鉸鏈結(jié)構(gòu)，前后門帶玻璃觀察窗及防污擋板。腔室內(nèi)外表面經(jīng)過(guò)拋光處理，并預(yù)留有照明、膜厚儀等設(shè)備接口；
真空系統(tǒng)：配備中科科儀脂潤(rùn)滑分子泵FF-200/1300口徑與鮑斯BSV-30機(jī)械泵，具有高效的抽氣能力，抽氣時(shí)間短且極限真空度高（優(yōu)于2.0×10-5Pa），關(guān)機(jī)12小時(shí)后仍可保持良好真空性能；
基片臺(tái)：抽屜式結(jié)構(gòu)，可承載最大L150mm*W150mm樣品，配氣動(dòng)基片大擋板，支持旋轉(zhuǎn)和水冷功能，與蒸發(fā)源距離可調(diào)，手動(dòng)升降調(diào)節(jié)最大50mm可調(diào)；
蒸發(fā)源及電源：系統(tǒng)配置3組舟式蒸發(fā)源，金屬源采用水冷銅電極+蒸發(fā)舟結(jié)構(gòu)，最高溫度可達(dá)1500℃；并配備2.4KW蒸發(fā)電源，支持恒流和恒壓兩種驅(qū)動(dòng)模式，可手動(dòng)/軟件控制也可通過(guò)膜厚儀PID控制調(diào)節(jié)蒸發(fā)速率；
膜厚控制系統(tǒng)：采用進(jìn)口INFICON公司的SQC-310膜厚儀，精度高達(dá)0.01埃，能自動(dòng)控制金屬蒸發(fā)電源輸出。同時(shí)，還配備了西門子PLC+觸摸屏手自動(dòng)控制系統(tǒng)，可以輸入速率和終厚，通過(guò)PID調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)對(duì)蒸發(fā)電源輸出的控制；
多項(xiàng)安全保護(hù)功能疊加，安全系數(shù)大大增加；
機(jī)械泵前加裝分子篩，抽氣口加裝過(guò)濾網(wǎng)、百葉窗等防護(hù)件，氣路設(shè)計(jì)避免揚(yáng)塵；
所有樣品臺(tái)、源擋板，樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)均采用磁流體密封，保證系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定性。
六源真空蒸鍍儀配備

技術(shù)參數(shù)
電源	三相五線制AC380V±10%，頻率：50Hz，總功率約8KW
氣源	壓縮空氣：干燥、干凈、無(wú)水、無(wú)油的壓縮空氣，8mm塑料氣管，壓力5.5～6公斤（0.55-0.6MPA）氮?dú)猓焊稍锏獨(dú)?，用于設(shè)備腔室破真空，8mm塑料氣管，壓力1-2公斤（0.1-0.2MPA）
水源	流量15-20升/分鐘，15～25℃，進(jìn)水和出水壓差3～4公斤，進(jìn)水壓力3～5公斤，設(shè)備的進(jìn)水和出水口外徑1英寸，建議在設(shè)備的進(jìn)水口前安裝一個(gè)球閥，方便調(diào)節(jié)水壓和水流量
真空極限	真空極限優(yōu)于2.0×10-5Pa 漏率：優(yōu)于5×10－8Pa*L/S（國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)）關(guān)機(jī)12小時(shí)后，真空度≤5Pa；（手套箱干燥氮?dú)猸h(huán)境）
抽速	抽氣時(shí)間：大氣壓～5*10-4Pa，小于25min；（手套箱干燥氮?dú)猸h(huán)境）
真空室	304L不銹鋼方形真空室，內(nèi)部電拋光，立式前后開門結(jié)構(gòu) 前門配有帶檔板直徑4英寸觀察窗1個(gè)（配防污玻璃），后門配有小觀察窗用于觀察樣品源和樣品2個(gè)（配防污玻璃）內(nèi)襯材質(zhì)：不銹鋼，多片結(jié)構(gòu)方便拆卸安裝左側(cè)：連接主閥門和分子泵，真空測(cè)量接口頂部：安裝旋轉(zhuǎn)水冷樣品臺(tái)、樣品臺(tái)大擋板、膜厚儀接口各1個(gè) 底板：安裝金屬蒸發(fā)電極、有機(jī)束源蒸發(fā)源爐各3組（預(yù)留一組膜厚儀探頭安裝口）真空室下方為一體式電控部分，配有萬(wàn)向輪和地腳，方便移動(dòng)
抽真空系統(tǒng)	分子泵+機(jī)械泵組合式真空系統(tǒng)，氣動(dòng)閥門分子泵：中科科儀脂潤(rùn)滑分子泵FF-200/1300口徑，抽速：1300L/S 機(jī)械泵：BSV30機(jī)械泵，抽速：9L/S 真空閥門：DN40mm 擋板閥2套；中科科儀氣動(dòng)主閥DN200 1套真空密封：可拆靜密封采用氟橡膠圈密封，不常拆靜密封采用無(wú)氧銅密封
真空計(jì)	復(fù)合真空計(jì)（一低一高2個(gè)真空計(jì)）自動(dòng)控制切換低真空、高真空測(cè)量，范圍：大氣到5E-9torr 真空讀數(shù)輸入PLC，用于工藝控制
蒸發(fā)源	配備3組舟式蒸發(fā)源。帶2.4KW電源1套恒流恒壓模式配備3組有機(jī)束源蒸發(fā)源，配套3組坩堝，加熱溫度：0～700℃，角度可調(diào)范圍：15° 配備3臺(tái)有機(jī)蒸發(fā)電源，配備實(shí)時(shí)顯示坩堝溫度日本導(dǎo)電溫控儀，可程序段控溫
工件架	配有自轉(zhuǎn)電動(dòng)工件盤，一次性放置最大150*150mm樣品，配有單轉(zhuǎn)軸空心磁流體密封，樣品旋轉(zhuǎn) 高扭矩電機(jī)和控制器，轉(zhuǎn)速0～30RPM可調(diào) 帶冷卻功能主控系統(tǒng)控制開關(guān)，轉(zhuǎn)速檢測(cè)并顯示氣動(dòng)大擋板
系統(tǒng)自動(dòng)控制	西門子PLC+觸摸屏手自動(dòng)控制，可輸入速率及終厚，PID調(diào)節(jié)自動(dòng)控制蒸發(fā)電源輸出控制內(nèi)容：機(jī)械泵，分子泵，氣動(dòng)、電磁閥門、真空計(jì)等等；自動(dòng)抽真空、自動(dòng)鍍膜、自動(dòng)排氣等完整的互鎖保護(hù)（硬件、軟件互鎖），另外系統(tǒng)配備水流檢測(cè)報(bào)警裝置
安全保護(hù)	缺水欠壓檢測(cè)與保護(hù)、相序檢測(cè)與保護(hù)、溫度檢測(cè)與保護(hù)、真空系統(tǒng)檢測(cè)與保護(hù) 對(duì)泵、電極等缺水、過(guò)流過(guò)壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施
真空室尺寸	約L400W400H450mm
外形尺寸	約L1000W780H2000mm
重量	約360kg