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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
產(chǎn)品介紹：
本儀器配置特殊數(shù)字存儲示波器，軟件依照壽命測量基本原理編寫，采用了國際標準（MF28 及MF1535）中推薦的幾種讀數(shù)方法。
數(shù)字示波器具有存儲功能，應用平均采樣方式，平均次數(shù)可選4、16、32、64、128、256 次，隨平均次數(shù)的增加隨機噪聲被減小，波形更穩(wěn)定、清晰。
微波光電導載流子復合壽命測試儀是參照半導體設備和材料國際組織SEMI 標準MF1535-0707 及國家標準GB/T 26068-2010設計制造。本設備采用微波反射無接觸光電導衰退測量方法，適用于厚度為1mm 以下的硅片、電池片少數(shù)載流子壽命的測量，提供無接觸、無損傷、數(shù)字顯示的快速測量。壽命測量可靈敏地反映半導體重金屬污染及缺陷存在的情況，是半導體質量的重要檢測項目。
微波光電導載流子復合壽命測試儀技術指標：
壽命測量范圍：0.25μs～10ms；
電阻率下限：≥0.5Ω·cm，尚未發(fā)現(xiàn)電阻率測量上限。
型號：N 型或P 型單晶或鑄造多晶。
紅外光源波長：0.904～0.905μm；
外形尺寸：365×415×160mm
產(chǎn)品重量：13Kg
工作電源：～220V 50Hz
功耗范圍：≤40W
基本配置：
100B壽命儀主機1臺
數(shù)字示波器1臺
信號線1條
校核片1片
156*156開方硅錠測試臺1套