一、GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》中的技術(shù)指標(biāo)

     
    GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀一次進(jìn)樣即可完成高純氨等各種電子工業(yè)用氣體中痕量的H₂、O₂、Ar、N₂、CO、CO_2及總烴的分析，小檢測濃度達(dá)ppb級。
    GC-9560-HG高純氣體分析系統(tǒng)適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司*的中心切割技術(shù)，所配備的進(jìn)樣閥均為帶有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)口閥；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計，不同色譜柱可單獨(dú)控溫，大限度地優(yōu)化了分離條件，并且方便對不同色譜柱分別進(jìn)行老化處理，方便儀器的維護(hù)；儀器配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)，克服了不同底氣因分子量不同而造成的進(jìn)樣量不*多導(dǎo)致的分析誤差。
一、氦離子化檢測器的性能優(yōu)勢：
        氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)行業(yè)，是工業(yè)生產(chǎn)的“血液”，隨著國民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，對高純氣體和電子工業(yè)用氣體的需求量也快速增長。痕量雜質(zhì)的檢測是生產(chǎn)高純氣體和電子工業(yè)用氣的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，而痕量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點(diǎn)，傳統(tǒng)的熱導(dǎo)等色譜檢測器均無法勝任高純的氣體分析。
        脈沖放電氦離子化檢測器（PDHID）是一種靈敏度的通用型檢測器，對幾乎所有無機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng)，特別適合高純氣體的分析，是*能夠檢測至ng/g（ppb）級的檢測器。新制定的國家標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定，采用氦離子化檢測器替換原有的熱導(dǎo)等檢測器，華愛色譜承擔(dān)主要起草任務(wù)的國家標(biāo)準(zhǔn)《氣體分析 氦離子化氣相色譜法》也正在制定之中，不久將正式公布實(shí)施。

• 吹掃型十通閥
          GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀所配備的均為*VICI生產(chǎn)的帶保護(hù)氣路的吹掃型十通閥，閥平面始終處于載氣的氛圍中，避免進(jìn)樣和切換時空氣滲透到樣品之中，大大提高檢測靈敏度和性。
•  經(jīng)特殊加工的色譜柱技術(shù)
  （1）色譜柱管材采用316L不銹鋼材料，且管材內(nèi)壁均經(jīng)過鈍化處理，防止吸附和一氧化碳拖尾等問題的產(chǎn)生
  （2）色譜柱擔(dān)體均經(jīng)過特殊處理，避免氧吸附等問題的產(chǎn)生
  （3）預(yù)切柱采用華愛色譜獲得國家的微型填充柱技術(shù)，樣品的分離，兼顧分離、穩(wěn)定與快速

• 多柱箱分離系統(tǒng)
          氣體樣品的形式多種多樣，同時雜質(zhì)種類繁多，需要多根不同的色譜柱聯(lián)用來完成氣體樣品中的所有雜質(zhì)的分離。由于不同色譜柱的佳工作溫度不盡相同，在同一個柱箱中很難找到同時適合不同色譜柱工作的佳工作溫度。GC-9560-HG采用多柱箱設(shè)計，有效解決了不同色譜柱需要不同工作溫度的難題。
          在儀器的日常維護(hù)中，由于分子篩等不同擔(dān)體的色譜柱的活化溫度各不相同，如果在同一柱箱中進(jìn)行老化需要將不耐受高溫的色譜柱拆下來，然后分別進(jìn)行活化。GC-9560-HG的多柱箱設(shè)計可以有效解決上述問題，不同的色譜柱可以在不同柱箱中分別活化，避免了日常儀器維護(hù)工作中需要拆裝色譜柱的問題。
• HP-2氦氣純化器：
          GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀采用高純氦氣為載氣，氦氣的純度直接影響到整個儀器對雜質(zhì)的檢測靈敏度。試驗(yàn)證明，高純氣體分析所用載氣的純度至少比氣體樣品的本底純度高一個數(shù)量級。
          HP-2型氦氣純化器是VICI公司生產(chǎn)的一款專載氣純化器，其純化基質(zhì)是一種無揮發(fā)性的吸附性合金，吸附劑粒子表面有一層氧化膜需通過加熱活化，活化過程必須在真空或惰性氣體環(huán)境下完成，這樣可允許氦氣在其間自由擴(kuò)散，防止氧氣純化層的形成，又可以進(jìn)行雜質(zhì)氣體的吸附。HP的吸附劑材料具有良好的熱穩(wěn)定性，包括兩個溫度控制范圍。
  可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
  大操作壓力：1000Psi
  去除氣體：H₂、O₂、N₂、CO、CO₂、CH₄、H₂O、NO、NH₃、CF₄等
  殘留濃度：≤10ppb
• 進(jìn)樣壓力校正系統(tǒng)
          傳統(tǒng)的色譜儀采用在進(jìn)樣閥出口處控制流量的辦法來控制定量管內(nèi)的進(jìn)樣體積，試驗(yàn)證明這種方法有著很大的分析誤差
          以分析高純氫氣為例：標(biāo)準(zhǔn)氣是配置在氦氣中的六種雜質(zhì)，而樣品氣是在氫氣中的六種雜質(zhì)；由于氦氣和氫氣的分子量不同，從而造成了在相同流量下的進(jìn)樣量是不*的情況
          GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀配備壓力校正系統(tǒng)，克服因底氣不同造成的進(jìn)樣量不*的問題，確保數(shù)據(jù)的性。
• 無死體積取樣閥
          GC-9560-HG配備了無死體積的取樣閥，采用帶吹掃保護(hù)的取樣方式，有效的避免了空氣殘留的問題，將取樣過程對分析的影響降至低的水平。
• 載氣減壓閥
          普通減壓閥由于死體積的存在，直接影響到經(jīng)減壓閥輸出后的載氣純度，造成載氣中的本底雜質(zhì)濃度很高，從而影響到整個系統(tǒng)的檢測限。
          GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀配備具有兩級穩(wěn)壓功能的全不銹鋼載氣減壓閥，大大提高了壓力穩(wěn)定性，確?；€的穩(wěn)定，同時也降低了閥體內(nèi)的死體積，進(jìn)一步提高檢測靈敏度。